- Débitmètres Massiques et Régulateurs
- Modèle MCES : Régulateurs de débit massique de gaz inaltérables aux normes SEMI
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Modèle MCES : Régulateurs de débit massique de gaz inaltérables aux normes SEMI
Les régulateurs de débit massique de gaz inaltérables sous vide modèle MCES sont équipés de raccords VCR 1/4″ et correspondent bout à bout aux MFC standard SEMI, pour des mises à niveau faciles à intégrer dans les appareils de dépôt sous vide. Contrôlez le débit massique ou la pression de plus de 130 gaz, dont plus de 30 corrosifs.
- Remplacement facile. Le régulateur de débit massique comprend des raccords VCR 1/4″ soudés et correspond à la longueur bout à bout de 124 mm des MFC standard SEMI.
- Compatibilité avec les gaz agressive. Les matériaux en contact avec le sol sont compatibles avec plus de 30 gaz corrosifs purs et la plupart des gaz réfrigérants.
- Polyvalent et précis. Contrôle en temps réel avec une précision traçable par le NIST de ±0,5 % de la lecture ou ±0,1 % de la pleine échelle pour plus de 98 gaz et 20 mélanges personnalisés.
- Intégration facile. Des orifices procédé et des connecteurs électriques personnalisés, et votre choix de communications EtherNet/IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU et TCP/IP) ou modèle pour une intégration facile dans votre processus industriel.
Spécifications de l’appareil et options de personnalisation
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