Flujo

Controladores de flujo de masa de gas

La estabilidad de flujo depende de la capacidad del controlador para ser rápido y preciso. Nuestros controladores de flujo másico alcanzan sus puntos de ajuste más rápido que cualquier otro, lo que les permite suprimir las fluctuaciones en la presión de la línea antes de que afecten el proceso aguas abajo. Las opciones de válvula personalizadas y el ajuste PID de fábrica aseguran que su MFC funcionará bien en su aplicación específica.

La serie MC es nuestro controlador de flujo másico estándar, con modelos que pueden medir caudales de hasta 5000 slpm o tan bajos como 0.0025 sccm. Elija un MCQ cuando las presiones de su línea son altas (145-305 psig). La serie MCW es la mejor para aplicaciones de baja caída de presión, pruebas de fugas y para reducir el tiempo de respuesta neumática a caudales de 50 scccm o menos.

Si necesita un reemplazo directo para un controlador de flujo de masa térmica existente, la serie MCE coloca la válvula dentro para ajustar sus conexiones de proceso a la longitud estándar SEMI. Para aplicaciones de vacío, el MCV agrega una válvula de cierre accionada neumáticamente al factor de forma MCE.

BASIS es la línea de controladores de flujo másico compactos de Alicat diseñados para aplicaciones OEM y pedidos de grandes cantidades.

Dispersión de gas para control de pH (MC)

Controle las tasas de flujo másico en un amplio rango de flujo con ajustes rápidos para adaptarse a los requisitos de flujo cambiante.

Detección más rápida de fugas (MCW)

Un controlador de flujo másico «Whisper» que está configurado para controlar la presión, sirve para las funciones de controlador de presión y de medidor de flujo másico en un solo dispositivo.

Control de flujo de gas para pulverización catódica reactiva (MCV)

Controle con precisión las presiones parciales de los gases reactivos en la cámara de vacío y mantenga un cierre hermético en condiciones sin flujo con la válvula neumática.

Control de flujo para analizadores de gas OEM (BASIS)

El tamaño pequeño, la disponibilidad de control instantáneo y las comunicaciones duales hacen que BASIS sea fácil de incorporar en productos de usuario final.

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