Flujo
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- Controladores de flujo de masa de gas
La estabilidad de flujo depende de la capacidad del controlador para ser rápido y preciso. Nuestros controladores de flujo másico alcanzan sus puntos de ajuste más rápido que cualquier otro, lo que les permite suprimir las fluctuaciones en la presión de la línea antes de que afecten el proceso aguas abajo. Las opciones de válvula personalizadas y el ajuste PID de fábrica aseguran que su MFC funcionará bien en su aplicación específica.
La serie MC es nuestro controlador de flujo másico estándar, con modelos que pueden medir caudales de hasta 5000 slpm o tan bajos como 0.0025 sccm. Elija un MCQ cuando las presiones de su línea son altas (145-305 psig). La serie MCW es la mejor para aplicaciones de baja caída de presión, pruebas de fugas y para reducir el tiempo de respuesta neumática a caudales de 50 scccm o menos.
Si necesita un reemplazo directo para un controlador de flujo de masa térmica existente, la serie MCE coloca la válvula dentro para ajustar sus conexiones de proceso a la longitud estándar SEMI. Para aplicaciones de vacío, el MCV agrega una válvula de cierre accionada neumáticamente al factor de forma MCE.
BASIS es la línea de controladores de flujo másico compactos de Alicat diseñados para aplicaciones OEM y pedidos de grandes cantidades.
Dispersión de gas para control de pH (MC)
Controle las tasas de flujo másico en un amplio rango de flujo con ajustes rápidos para adaptarse a los requisitos de flujo cambiante.
Detección más rápida de fugas (MCW)
Un controlador de flujo másico «Whisper» que está configurado para controlar la presión, sirve para las funciones de controlador de presión y de medidor de flujo másico en un solo dispositivo.
Control de flujo de gas para pulverización catódica reactiva (MCV)
Controle con precisión las presiones parciales de los gases reactivos en la cámara de vacío y mantenga un cierre hermético en condiciones sin flujo con la válvula neumática.
Control de flujo para analizadores de gas OEM (BASIS)
El tamaño pequeño, la disponibilidad de control instantáneo y las comunicaciones duales hacen que BASIS sea fácil de incorporar en productos de usuario final.
Un MFC excelente necesita hacer bien solo una cosa: mantener la tasa de flujo en su valor nominal. El controlador de flujo másico de gas de la serie MC de Alicat logra nuevos valores nominales rápidamente y permanece allí, incluso frente a los picos de presión. Utilizaremos los parámetros de su aplicación para adaptar su válvula y el ajuste PID para garantizar que ofrezca un control rápido y estable.
Desempeño
Condiciones de funcionamiento
Contenido de la caja
Accesorios (en venta de manera separada)
Opciones de válvula
Su controlador de flujo másico se puede adaptar con una de las siguientes opciones de válvulas para garantizar un desempeño óptimo en las condiciones esperadas de su proceso.
Gases corrosivos (serie MCS)
Los instrumentos en la serie MC estándar también están disponibles con una configuración «S» (MCS) opcional para usar con gases corrosivos. En esta configuración, mejoramos la válvula al acero inoxidable 303, el sensor al acero inoxidable 316L y los elastómeros a FFKM. Algunos gases corrosivos requieren acero inoxidable 316L en todo el recorrido del flujo, y en este caso podemos mejorar tanto la válvula (tipo PCA) como el cuerpo de flujo a 316L para rangos de flujo de escala total de 20 slpm o menos.
Opciones de construcción
Opciones de desempeño
La serie MC de Alicat usa válvulas proporcionales pequeñas para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para usar con gases no corrosivos.
MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
La serie MCP de Alicat ofrece el orificio más grande en un formato de válvula pequeña y es adecuado para usar con gases no corrosivos.
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
La serie MCH de Alicat combina dos válvulas pequeñas que funcionan una al lado de la otra y es adecuada para usar con gases no corrosivos.
MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
La serie MCR de Alicat utiliza válvulas Rolamite, casi sin fricción, y una variedad de patrones de orificios para controlar a altas velocidades de flujo y es adecuada para usar con gases no corrosivos.
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR
La serie MCS de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para usar con gases corrosivos.
MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
La serie MCHS de Alicat es adecuada para el uso con gases corrosivos y combina dos válvulas que funcionan una al lado de la otra como una sola, para proporcionar un mayor control a presiones más altas.
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
La serie MCRS de Alicat es adecuada para el uso con gases corrosivos y utiliza válvulas Rolamite, casi sin fricción, y una variedad de patrones de orificios para controlar a altas velocidades de flujo.
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR
Dispersión de gas para el control de pH
Controle las tasas de flujo másico en un amplio rango de flujo con ajustes rápidos para adaptarse a los requisitos de flujo cambiante. La retroalimentación digital desde el PLC o PC permite cambios al valor nominal del flujo en tiempo real para mantener las condiciones óptimas del proceso.
Sistema adaptado de mezcla de gases
Los controladores de flujo másico de Alicat son adecuados para la creación de sistemas adaptados de mezcla de gases. Su flexibilidad y adaptabilidad inherentes pueden utilizarse con gran impacto en este tipo de aplicaciones.
Control de flujo másico a alta temperatura
La opción de electrónica remota de Alicat separa el sistema electrónico de los sensores y del cuerpo de flujo. Esto permite que fluyan gases a temperaturas más altas a través del cuerpo de flujo sin someter el sistema electrónico del controlador a temperaturas por encima de su diseño.
Los controladores de flujo másico de la serie «Whisper» con baja pérdida de carga, son ideales para controlar la masa y las tasas de flujo volumétrico cuando hay poca presión disponible en el sistema. La baja pérdida de carga minimiza el impacto en el sistema, lo que permite el control de flujo a presiones casi atmosféricas y acorta los tiempos de respuesta del sistema. Utilizaremos los parámetros de su aplicación para adaptar su válvula y el ajuste PID para garantizar que ofrezca un control rápido y estable, manteniendo, al mismo tiempo, baja la pérdida de carga.
Desempeño
Condiciones de funcionamiento
Contenido de la caja
Accesorios (a la venta por separado)
Opciones de válvula
Su controlador de flujo másico se puede adaptar con una de las siguientes opciones de válvulas para garantizar un desempeño óptimo en las condiciones esperadas de su proceso.
Opciones de construcción
Opciones de desempeño
La serie MCW de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para el uso con gases no corrosivos.
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
La serie MCPW de Alicat ofrece el orificio más grande en un formato de válvula pequeña y es adecuado para usar con gases no corrosivos.
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
La serie MCHW de Alicat combina dos válvulas pequeñas que trabajan una al lado de la otra como una sola, y es adecuada para usar con gases no corrosivos.
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
La serie MCRW de Alicat utiliza válvulas Rolamite, casi sin fricción, y una variedad de patrones de orificios para el control a tasas de flujo más altas, y es adecuada para usar con gases no corrosivos.
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR
Detecciones de fuga más rápidas
Para detectar fugas en volúmenes de prueba más pequeños, como en válvulas o sensores, un único controlador de flujo másico MCW «Whisper» que se configura para controlar la presión, mantendrá una presión constante en el dispositivo bajo prueba, al tiempo que proporciona lecturas precisas de flujo másico y volumétrico en tiempo real. Configurado de esta manera, el Whisper sirve las funciones de controlador de presión y medidor de flujo másico en un solo dispositivo.
El controlador de flujo MCQ ofrece la respuesta de control rápida de nuestro controlador estándar a las aplicaciones que requieren presiones de línea más altas (160-320 psia). Este controlador de flujo másico de alta presión alcanza nuevos valores nominales rápidamente y permanece allí, incluso frente a los picos de presión. Utilizaremos los parámetros de su aplicación para adaptar su válvula y los ajustes PID para garantizar que ofrezca un control rápido y estable.
Desempeño
Condiciones de funcionamiento
Contenido de la caja
Accesorios (vendidos por separado)
Opciones de válvula
Su controlador de flujo másico se puede personalizar con una de las siguientes opciones de válvulas para garantizar un rendimiento óptimo en las condiciones esperadas de su proceso.
Opciones de construcción
Opciones de desempeño
La serie MCQ de Alicat utiliza pequeñas válvulas proporcionales para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para usar con gases no corrosivos.
MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D
La serie MCHQ de Alicat combina dos válvulas pequeñas que funcionan una al lado de la otra y es adecuada para usar con gases no corrosivos.
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D
La serie MCRQ de Alicat utiliza válvulas Rolamite, casi sin fricción, y una variedad de patrones de orificios, para controlar a altas velocidades de flujo y es adecuada para usar con gases no corrosivos.
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR
La serie MCHQS de Alicat es adecuada para el uso con gases corrosivos y combina dos válvulas que funcionan una al lado de la otra, como una sola, para proporcionar un mayor control a presiones más altas.
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D
La serie MCRQS de Alicat es adecuada para usar con gases corrosivos y utiliza válvulas de Rolamite, casi sin fricción, y una variedad de patrones de orificios, para controlar a altas velocidades de flujo.
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR
Actualice sus dispositivos de deposición al vacío con un Alicat MCE o MCV de última generación. El MCE presenta la misma respuesta de control rápido de nuestro controlador de flujo másico estándar en un diseño que incluye accesorios soldados de 1/4″ VCR y coincide de punta a punta con el estándar SEMI del MFC.
El MCV combina el MCE con una válvula de cierre neumática integrada para aplicaciones de vacío duro. Conecte una línea de aire a la válvula de cierre para evitar la contaminación durante las condiciones de valor nominal cero.
Desempeño
Condiciones de funcionamiento
Incluido con su MCE o MCV:
Accesorios (en venta por separado)
Variaciones del modelo
También disponible:
Opciones de válvula
Su controlador de flujo másico se puede personalizar con una de las siguientes opciones de válvulas para garantizar un rendimiento óptimo en las condiciones esperadas de su proceso.
Gases corrosivos (series MCES y MCVS)
Los instrumentos en las series estándar MCE y MCV también están disponibles con una configuración «S» opcional (MCES y MCVS) para usar con gases corrosivos. En esta configuración, mejoramos la válvula al acero inoxidable 303, el sensor al acero inoxidable 316L y los elastómeros a FFKM.
Opciones de construcción
Opciones de desempeño
La serie MCE de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas montadas internamente para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para usar con gases no corrosivos.
MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D
La serie MCES de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas montadas internamente para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para usar con gases corrosivos.
MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D
La serie MCV de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas montadas internamente para controlar a tasas de flujo más bajas y es adecuada para usar con gases no corrosivos. La MCV también incorpora una válvula de cierre neumática ubicada aguas abajo.
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
La serie MCVS de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas montadas internamente para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para el uso con gases corrosivos. La MCVS también incorpora una válvula de cierre neumática ubicada aguas abajo.
MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D
Control de flujo de gas para pulverización reactiva
Controle con precisión las presiones parciales de los gases reactivos en la cámara de vacío con una respuesta de control rápida de 50 ms para evitar la contaminación del objeto. La resolución fina asegura la liberación apropiada de átomos. Mantenga un cierre hermético en condiciones de ausencia de flujo con la válvula neumática.
La actualización de sus antiguos controladores térmicos de flujo másico es solo una de las formas en que Alicat facilita el recubrimiento por vacío.
Los controladores de flujo másico BASIS ™ ofrecen control de flujo de gas confiable y repetible en un paquete compacto y económico para pedidos de gran cantidad. Diseñado para una integración sin tensiones dentro de los productos de fabricante de equipos originales (OEM), BASIS presenta un sensor MEMS de gran precisión y huella pequeña, y el destacado control rápido de válvulas de Alicat.
Desempeño
Condiciones de funcionamiento
Contenido de la caja
Accesorios (en venta por separado)
Opciones de construcción
BC-C0100 (1-100 sccm)
BC-C1000 (10-1000 sccm)
BC-L0020 (0.2-20 slpm)
Control de flujo para analizadores de gas OEM
Asegure la precisión de la medición en productos analizadores OEM. La respuesta rápida de la válvula y la alta precisión permiten flujos de gas repetibles y estables a los sensores del analizador. El tamaño pequeño, la disponibilidad de control instantáneo y las comunicaciones duales hacen que BASIS sea fácil de incorporar en productos de usuario final.
Mezcla automática de gases
Llene sus sistemas de mezcla de gas con los controladores de flujo másico BASIS sensibles que están listos en un instante para la medición de flujo con total precisión. La retroalimentación analógica y digital rápida a un PLC o PC permite cambios en tiempo real al valor nominal de la tasa de flujo para mantener la composición deseada de la mezcla de gases.
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