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MCV-Series: Controladores de Flujo de Masa de Gas para Cámaras de Vacío

Controladores de Flujo de Masa para Cámara de Vacío MCV-Series, estos están equipados con una válvula de cierre neumática y se pueden usar para controlar el flujo de masa o la presión de más de 98 gases en aplicaciones de vacío.
  • Válvula de cierre neumática. Equipado con una válvula de cierre positiva accionada neumáticamente para garantizar que no haya fugas.
  • Versátil y preciso. Control en tiempo real con precisión trazable por el NIST para ±0.6% de lectura o ±0.1% de escala completa para más de 98 gases y 20 mezclas definidas a medida.
  • Control rápido, datos multivariantes. Tiempos de respuesta de milisegundos inmediatamente después de encenderlo, para controlar el flujo de masa, el flujo volumétrico o la presión y mostrar lecturas instantáneas de flujo, presión y temperatura, en su elección de unidades de ingeniería.
  • Fácil integración. Puertos de proceso personalizados y conectores eléctricos, y su elección entre EtherNet/IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU y TCP/IP) o comunicaciones en serie para una fácil integración en su proceso industrial.

SOLICITAR PRESUPUESTO

Accesorios incluidos con la compra

Especificaciones del dispositivo y opciones de personalización

Especificaciones Generales
Rendimiento de la Serie MCV (la mayoría de los productos)
  • Rangos de Escala Completa Disponibles: 0.5 SCCM a 20 SLPM
  • Rango de Control de Estado Estacionario: Escala Completa de 0.01% – 100%
  • Calibración de Precisión Estándar, Trazable por NIST: ±0.6% de la lectura o ±0.1% de la escala completa, lo que sea mayor
  • Calibración Opcional de Alta Precisión, Trazable por NIST: ±0.5% de la lectura o ±0.1% de la escala completa, lo que sea mayor
  • Repetibilidad: ± (0.1% de lectura + 0.02% de escala completa)
  • Tiempo de Respuesta de Control Típico: hasta 30 ms
  • Integridad de fuga de la válvula neumática: 1 x 10-9 atm-cc/seg de helio máx
  • Tiempo de Calentamiento: <1 s
Condiciones de Funcionamiento de la Serie MCV
  • Gases Compatibles: más de 98 calibraciones de gas seleccionables precargadas, incluidas mezclas de gas personalizadas
  • Temperatura de Funcionamiento: –10°C a +60°C
  • Presión de Funcionamiento a Escala Completa: 11 barA
  • Presión Diferencial Máxima: 5.2 barD
  • Presión de Prueba: 12 barA
  • Condiciones de Referencia Seleccionables por el Usuario (valores predeterminados): 25°C y 1 ATM (STP) y 0°C y 1 ATM (NTP)
Rangos de Dispositivos y Especificaciones Completas

Los dispositivos tienen rangos personalizados desde 0.5 SCCM a escala completa hasta 20 SLPM a escala completa con rangos controlables de 0.01% a 100% de escala completa.

Para revisar una guía completa del dispositivo, lea el manual de operación del controlador de flujo de masa.

Características del Dispositivo
Incluido con Cada Dispositivo
  • Mediciones de Proceso Multivariables: Mida simultáneamente el flujo de masa, el flujo volumétrico, la presión del gas y la temperatura del gas.
  • Unidades de Medida Ajustables por Usuario: Cambie la unidad de medida para la presión, el flujo o la temperatura de nuestra extensa lista de unidades de ingeniería.
  • Selectividad del Gas: Seleccione el gas de su proceso de cualquiera de las más de 98 calibraciones de gas trazables por NIST precargadas en nuestra lista de gases.
  • Gas Select COMPOSER™: Defina 20 mezclas de gases personalizadas de hasta 5 gases constituyentes utilizando nuestro firmware Gas Select Composer.
  • LCD Retroiluminado Monocromo con Panel Táctil Integrado: Lea fácilmente las mediciones utilizando la pantalla retroiluminada  y las configuraciones de control con el panel táctil integrado fácil de usar.
  • Rampas y Límites de Punto de Referencia Ajustables por Usuario: Las velocidades de rampa configurables permiten que la variable de proceso se controle tan rápido o tan lento como se desee, y los límites de punto de referencia configurables protegen los procesos de cambios involuntarios en el punto de referencia.
  • Condiciones de Temperatura y Presión Estándar (STP) Ajustables por Usuario: Rápidamente cambie las condiciones de referencia sin necesidad de recalibrar.
  • Anulación de Cierre de Válvula y Anulación de Apertura de Válvula: Utilice alarmas para ventilar rápidamente su sistema o detener todo el flujo según sea necesario.
Solicitudes al Momento de la Compra | Gratis
  • Totalizadores Integrados Opcionales y Control de Lotes: Totalice el flujo de masa cada 1 ms para un seguimiento preciso del flujo total a lo largo del tiempo y utilice el control de lotes para dispensar volúmenes precisos.
Solicitudes en el Momento de la Compra | Costo Adicional
  • Control por Potenciómetro Integrado Opcional: Utilice el potenciómetro integrado para ajustar los puntos de referencia con el simple giro de una perilla.
Opciones de Personalización de Dispositivos
Opciones de fabricación y rendimiento
  • Protocolos de comunicaciones: Analógico, RS–232, RS–485, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus RTU o TCP/IP, PROFIBUS
  • Pantallas: Retroiluminadas monocromáticas o a color; integradas o montadas en panel
  • Conexiones de proceso: conexiones de compresión, VCR o VCO
  • Materiales humedecidos: Acero inoxidable 302, 303, 304, 316L y 430FR; FKM, cerámica de alúmina, latón, vidrio, oro, epoxi curado térmicamente, caucho de silicona curado térmicamente, poliamida, silicio
  • Calibración: Alta precisión; puntos de calibración personalizados

Opciones de válvulas y ajuste PID

Su controlador de flujo de masa se puede personalizar con una de las siguientes opciones de valvula para garantizar un rendimiento óptimo en las condiciones de proceso esperadas.

  • MCV: pequeña válvula de control proporcional montada internamente, además de una válvula de cierre neumática montada externamente aguas abajo

El ajuste personalizado de la válvula PID garantiza el máximo rendimiento para las condiciones específicas de su proceso.

Accesorios Opcionales
Accesorios | Se vende por separado
  • Conexiones y filtros de puerto de proceso
  • Fuentes de alimentación
  • Cables de comunicaciones y cables de conversión
  • Cajas de ruptura de multiderivación BB3 y BB9

¿No ves exactamente lo que estás buscando?

  • Explore otras opciones de controlador de flujo de masa de gas, incluidos dispositivos de alta presión y anticorrosivos.
  • Echa un vistazo a nuestras otras soluciones de control y medición de flujo o presión.
  • Nuestro equipo experto de ingenieros en aplicaciones está disponible para proporcionar información adicional, discutir su solicitud o responder cualquier pregunta que pueda tener.

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