La mayoría de las herramientas tradicionales de deposición al vacío usan control de presión aguas abajo para mantener la presión de los gases en la cámara de vacío. La configuración de la válvula de aguja puede costar miles de dólares. También requiere un módulo de control separado para alimentar la válvula, proporcionar datos PID y funcionalidad de valor nominal. La configuración de la válvula de aguja también puede causar retrasos al cambiar los gases o mientras espera que se asiente el gas en la cámara.

Colocar un instrumento de control aguas arriba de la cámara proporciona tiempos de respuesta mucho más rápidos y una mejor estabilidad, usando una válvula de control proporcional de acción rápida. El método de aguas arriba también elimina la necesidad de válvulas adicionales, reduciendo las necesidades de equipo y el costo de configuración. Los instrumentos Alicat ofrecen esta alternativa.

El Alicat PC-EXTSEN

Controlador de presión serie Alicat PC-IVC con sensor integrado

Para proyectos de mayor escala u OEM, el controlador de presión  PC-EXTSEN de Alicat (sensor externo) puede controlar los niveles de vacío estando montado aguas arriba de la cámara. Esta serie se usa cuando la presión del proceso está en vacío alto o ultra alto y requiere un medidor externo. El PC-EXTSEN toma una señal analógica del sensor y proporciona control de lazo cerrado usando una válvula proporcional.

Al añadir un sensor de presión externo, es posible mantener con mayor precisión la presión de la cámara al mismo tiempo que se permite al usuario cambiar o ajustar los gases usados independientemente del sistema de deposición al vacío en su conjunto. Esto permite una aplicación más rápida de gases neutros, un control mejorado y niveles estables de presión en el entorno de recubrimiento.

El controlador de presión PC-EXTSEN proporciona alimentación al medidor externo de vacío y es compatible con todas las tecnologías de medición, incluidas ionización, Pirani y cátodo frío, así como medidores activos o pasivos y medidores de combinación.

Los controladores de vacío integrados Alicat (IVC)

Alicat PC-IVC-series pressure controller with integrated sensor

Para experimentos más pequeños y proyectos donde no hay un vacuómetro existente, el IVC de Alicat es la solución. Al igual que el PC-EXTSEN, elimina el volumen, la complicación y el gasto del método tradicional de control de presión de la válvula de aguja. El IVC incluye un sensor de vacío integrado directamente en el dispositivo, lo que permite controlar la presión en una cámara de vacío desde el primer momento. Estos sensores pueden operar con alta precisión a rangos bajos, tan bajos como 10 militorr. El IVC también incluye control PID directamente desde el dispositivo y un sensor aislado neumáticamente, lo que garantiza una mayor precisión en comparación con otras soluciones en el mercado, con precisión de medición de la cámara e independencia del gas.

Colocar los dispositivos de control de presión aguas arriba de la cámara en aplicaciones de revestimiento por vacío ahorra tiempo, costo y aumenta la precisión en las herramientas de deposición al vacío.

¿Tiene alguna pregunta?