Erhöhung der Geschwindigkeit und Stabilität der Vakuumabscheidung mit vorgeschalteter Druckregelung
Die vorgelagerte Druckregelung bietet zahlreiche Vorteile für Vakuumbeschichtungsanlagen. Durch die Regelung des Drucks vor der Vakuumkammer werden zusätzliche Ventile überflüssig, wodurch die Kosten für die Ausrüstung gesenkt und potenzielle Leckstellen minimiert werden. Ein schnell wirkendes, proportionales Regelventil verbessert zusätzlich die Abscheidegeschwindigkeit und -stabilität.
Herausforderung: Herkömmliche nachgeschaltete Drucksysteme sind langsam, teuer und können mühsam aufgerüstet werden
Bei Vakuumbeschichtungsanlagen wird üblicherweise eine nachgeschaltete Druckregelung verwendet, was aus mehreren Gründen problematisch ist. Diese Aufbauten:
- Teure Drosselklappen verwenden
- Verzögerungen bei der Änderung des Gasflusses oder beim Warten auf das Absetzen des Gases in der Kammer
- Erfordert ein separates Steuermodul zur Stromversorgung des Ventils, zur Bereitstellung von PID-Daten und zur Steuerung des Sollwerts des Druckreglers
Die Aufrüstung von Systemen ist ebenfalls problematisch, da der Austausch von Altgeräten mühsam sein kann. Optimal ist es, wenn die Systeme mit Geräten aufgerüstet werden, die ohne große Systemumgestaltung einfach eingebaut werden können.
Lösung: Minimierung von Druckschwankungen durch einfach zu integrierende Vorschaltdruckregler
Die PC-EXTSEN Druckregler ist so konzipiert, dass es sich nahtlos in Ihr bestehendes System integrieren lässt, ohne dass weitere Konstruktionsänderungen erforderlich sind. Dieses Gerät wird vor der Vakuumkammer montiert und verwendet einen externen Sensor, wie z. B. das vorhandene Vakuummeter, zur Steuerung des Vakuumniveaus. Der Druckregler kann zusätzlich standardisiert und an eine gemeinsame Steuerungsschnittstelle angeschlossen werden, die serielle oder analoge Kommunikation oder ein industrielles Protokoll wie EtherCAT verwendet.
Der Alicat-Druckregler hält den Kammerdruck exakt auf dem gewünschten Niveau.
Schnelle Ansprechzeiten von bis zu 30 ms und eine hohe Wiederholgenauigkeit von bis zu ±0,08% des Skalenendwerts verhindern Störungen des Systemdrucks und führen zu äußerst gleichmäßigen Vakuumbeschichtungen.
Integrierte Vakuum-Controller der IVC-Serie machen das Drosselventil überflüssig
Die Verwendung dieses externen Drucksensors in Verbindung mit dem Vakuummeter ermöglicht es Ihnen, den Druck in der Vakuumkammer auch bei Änderungen oder Anpassungen der eingeleiteten Gase möglichst genau aufrechtzuerhalten. Dies ermöglicht eine schnellere Anwendung von neutralen Gasen und eine insgesamt verbesserte Systemsteuerung durch die konstanten Druckwerte in der Beschichtungsumgebung.
Bei Anlagen ohne vorhandenes Vakuummeter kann der IVC-Serie Drucksteuerungen machen ein Manometer überflüssig. Die IVC-Serie integriert direkt einen hochpräzisen Vakuumsensor für eine zuverlässige Steuerung mit einem Wert von nur 0,01 MilliTorr. Ähnlich wie der PC-EXTSEN ist dieses Gerät in der Lage, die Masse, die Komplikationen und die Kosten einer traditionellen Drosselventil-Druckregelung zu vermeiden.
Diese Druckregler können auch mit einem pneumatisch isolierten Sensor konfiguriert werden, der direkt an die Vakuumkammer angeschlossen werden kann. Dieser Sensor ermöglicht eine präzise Messung der Vakuumkammer unabhängig von der Zusammensetzung des strömenden Gases.
Druckregler der IVC-Serie mit integriertem Vakuumsensor
Schlussfolgerung
Die Anwendungsingenieure von Alicat empfehlen immer eine vorgeschaltete Druckregelung für Anwendungen zur Dünnschichtabscheidung. Je nach den Parametern Ihres Aufbaus und je nachdem, ob Sie mit oder ohne externes Vakuummeter konstruieren möchten, kann entweder ein PC-EXTSEN oder ein Druckregler der IVC-Serie von Vorteil sein.
Druckregler mit externen Sensoren sind in der Lage, Messsignale direkt zu integrieren und gleichzeitig eine vorgeschaltete Steuerung zu ermöglichen. Druckregler mit integrierten Vakuumsensoren sind einfache Lösungen, die weniger Ausrüstung in einer Anlage erfordern.
In jedem Fall spart die Anbringung von Druckregelvorrichtungen vor der Kammer bei Vakuumbeschichtungsanwendungen Zeit und Kosten und erhöht die Genauigkeit der Vakuumbeschichtungswerkzeuge.