Lösungen für Durchfluss und Druck in der Halbleiterindustrie

Schnelle, präzise Gas- und Flüssigkeitssteuerung für den Bau und die Prüfung von Fertigungsanlagen, die Gasversorgung sowie fortschrittliche Verpackungstechniken

Makroaufnahme eines gemusterten Siliziumwafers, dessen Raster aus Mikrochip-Chips das Licht in Farbstreifen bricht

Angesichts des immer schnelleren Ausbaus der Halbleiterindustrie benötigen Hersteller von Gassteuerungssystemen, Werkzeug-OEMs und Fabrikteams Messgeräte, die innerhalb von Tagen statt Monaten lieferbar sind und bei jedem Prozessgas eine gleichbleibende Genauigkeit gewährleisten. Alicat^® Scientific bietet beides an – von F&E-Arbeitsplätzen bis hin zur Gasversorgung in der Produktion und den Verpackungslinien im Backend. Unsere Geräte sind in der gesamten Fabrik zu finden, darunter:

Entwicklung von Anlagen und Verfahren zur Abscheidung und zum Ätzen sowie Forschung und Entwicklung
Prüfstände für Gas-Schalttafeln und Komponenten
Aufbereitung und Verteilung von gereinigtem Stickstoff
Verbindung und Dampfkontrolle bei fortschrittlichen Verpackungstechniken
MFC-Kalibrierung und -Eichung im Feld und im Labor
FastTrack-Tool: Ersatz für den Neuaufbau

Produktführer

Leitfaden zur Auswahl von Halbleiterprodukten
Gas Select™ und die COMPOSER™-Gasbibliothek

Produktführer

Leitfaden zur Auswahl von Halbleiterprodukten
Gas Select™ und die COMPOSER™-Gasbibliothek

Mit Handschuhen bekleidete Hände in einem Reinraumkittel wischen eine Arbeitsfläche aus Edelstahl ab

MC-Serie

MCV-Serie

Aufbau des Abscheidungs- und Ätzgeräts, verbessert.

Die Gasversorgung ist in die PVD-, Sputter-, Verdampfungs-, CVD-, ALD- und PECVD-Anlagen integriert, die von den Geräteherstellern gebaut werden, sowie in die dahinter liegenden Forschungs-, Entwicklungs- und Charakterisierungsanlagen. Von Vorläufern mit niedrigem SCCM-Wert bis hin zu Trägergasen mit hohem SLPM-Wert sorgt eine einzige Plattform dafür, dass der Anlagenbau und die Experimente reibungslos voranschreiten, ohne dass bei der Konstruktion Rücksicht auf die Anforderungen an reine Materialien genommen werden muss.

Entwickelt für die schnelle Herstellung von Werkzeugen und die Prozessforschung und -entwicklung:

Lieferzeiten bei FastTrack: 3 bis 5 Werktage; jedes Instrument wird auf Bestellung gefertigt
Echte Mehrgasgenauigkeit für über 130 Gase und Gemische, vor Ort neu wählbar
Schnelle Regelung: Signalreaktionszeit unter 10 ms, Einschwingzeit bis zum Sollwert 100 ms
Die Protokolle, die Sie bereits einsetzen: EtherCAT, EtherNet/IP, PROFINET, Modbus, DeviceNet
NIST-rückführbare Mehrpunktkalibrierung bei jedem Gerät

Möchten Sie mehr über die Zufuhr von Abscheidungs- und Ätzgasen erfahren? $

Anwendungen in der Halbleiterindustrie

Prüfstände für Gas-Schalttafeln und Komponenten

Das Referenzmessgerät und der Gegendruckregler auf dem Prüfstand, mit denen Gasstifte, Gasboxen und Druckschalter vor dem Versand eines Werkzeugs geprüft werden. Schnell, wiederholbar und gasübergreifend präzise, mit EtherCAT- und VCR-Konfigurationen, die sich nahtlos in die Testautomatisierung integrieren lassen. Der bewährte Prüfstandard, nicht der Regler für Produktionsrezepte.

Sind Sie auf der Suche nach Prüfgeräten für Gas-Schalttafeln? $

Eine Reihe automatisierter Montagestationen entlang einer Fertigungslinie in einer Fertigungshalle

M-Serie

PCD-Serie

Gereinigter Stickstoff: Gasreinigung und -verteilung in der Halbleiterindustrie

Messung und Regelung von hochdurchflussigem, gereinigtem Stickstoff in den Reinigungs- und Verteilungssystemen, die eine Halbleiterfabrik versorgen. Das Gerät wurde für den Einsatz im UHP-Bereich hergestellt, auf Heliumleckdichtheit geprüft und mit Sauerstoff gereinigt, sodass Sie für alle von Ihnen gebauten Systeme ein einheitliches Messgerät verwenden können.

Sind Sie auf der Suche nach einer UHP-Gasversorgung? $

Eine Reihe automatisierter Fertigungsmaschinen in einer Produktionshalle, über den Köpfen verlaufende Kabelbündel

MCR-Serie

M-Serie

Bonding bei fortschrittlichen Verpackungstechnologien: Steuerung des Ameisensäuredampfes

Messung und Regelung von Stickstoff, der einige Prozent Ameisensäuredampf enthält, in Thermokompressions- und Hybrid-Bondern, in denen die reduzierende Atmosphäre Oxid entfernt, damit die Verbindung hält. Ein korrosiver, kondensierbarer Strom, mit dem Standardregler nur schlecht zurechtkommen. Die korrosionsbeständigen S-Modelle (MS, MCS) von Alicat gewährleisten über den gesamten Bereich hinweg Genauigkeit – ein wachsender Bedarf im Back-End-Bereich im Zeitalter der CHIPS.

Möchten Sie mehr über die Dampfkontrolle bei Verpackungen erfahren? $

Ein Reinraumbetreiber prüft eine strukturierte Halbleitersubstratplatte, die er gegen das Licht hält

MCS-Serie

MS-Serie

MFC-Kalibrierung und -Eichung im Feld und im Labor

NIST-rückführbare Referenz- und tragbare Normale zur Überprüfung der Tausenden von installierten Massendurchflussreglern in einer in Betrieb befindlichen Fertigungsanlage, im Messlabor oder vor Ort. Ein wiederkehrender Bedarf, der mit jeder neuen Fertigungsanlage, die mit Anlagen ausgestattet wird, weiter zunimmt.

Benötigen Sie Kalibrier- und Messtechnik-Werkzeuge? $

Ein Reinraumbediener in einem Schutzanzug, der einen Wafer an einem mikroskopbasierten Halbleiterprüfgerät untersucht

M-Serie

MW-Serie

Schneller Austausch für die Überholung und Aufarbeitung von Werkzeugen

Ersatzteile, die in Bezug auf Spezifikationen und Einbaumaße mit auslaufenden oder nur mit langer Lieferzeit erhältlichen Steuerungen kompatibel sind – im Rahmen von FastTrack innerhalb weniger Tage lieferbar, statt der woanders angegebenen Wochen. Bei der Überholung oder Aufarbeitung von Werkzeugen sind Lieferzeit und die Kompatibilität mit dem auszutauschenden Teil die entscheidenden Faktoren. Senden Sie uns die Spezifikationen, und wir finden das passende Ersatzteil.

Benötigen Sie einen schnellen Ersatz, der sofort einsatzbereit ist? $

Ein Techniker in Reinraumoveralls bei der Arbeit am Steuerpult einer Dünnschichtbeschichtungsanlage

MC-Serie

Entdecken Sie weitere Ressourcen zum Thema Halbleiter

Durchflussmessung von UHP-Stickstoff in einem Fab-Gassystem

Der Stickstoff mit hohem Durchfluss, der eine Halbleiterfabrik versorgt, wird von den Fachleuten dosiert, die die Gassysteme bauen. Die Hersteller von Schalttafeln und Systemen montieren….

Durchflussregelung für Ameisensäure beim flussmittelfreien Löten

Beim flussmittelfreien Oxid-Reduktions-Löten und beim Die-Bonding wird das chemische Flussmittel durch eine reduzierende Atmosphäre ersetzt, sodass die Verbindung sauber entsteht...

Durchfluss- und Druckregelung für Mess- und Prüfgeräte

Ein Mess- oder Prüfgerät ist darauf ausgelegt, geringe Abweichungen zu erkennen, und einige der Gaspositionen in seinem Inneren liegen näher an….

Gasdurchfluss- und Druckregelung bei der Dünnschichtabscheidung

Jede Abscheidungsanlage lässt mindestens zwei Gasrollen gleichzeitig laufen. Ein inertes Arbeits- oder Trägergas, fast immer Argon und manchmal...

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Messgeräte für Durchfluss und Druck in der Halbleiterindustrie

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