Débit
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- Régulateur de débit massique de gaz
Débit
Régulateur de débit massique de gaz
Les régulateurs de débit massique de gaz doivent être rapides et précis pour permettre un débit stable. Nos régulateurs de débit massique répondent aux consignes plus rapidement que tous leurs concurrents, ce qui leur permettentde supprimer les fluctuations de la pression de ligne avant qu’elles ne puissent affecter votre processus en aval. Les options de vanne personnalisées et le réglage PID garantissent que votre régulateur aura le fonctionnement adéquat selon votre domaine d’application.
La série MC est constituée par nos régulateurs de débit massique standard, avec des modèles pouvant mesurer des débits aussi élevés que 5000 Nlpm (sous conditions standards) ou aussi bas que 0,0025 sccm. Faites le choix du régulateur MCQ lorsque vos pressions de ligne sont élevées (145-305 psi). La série MCW est idéale pour les applications à faible perte de charge, les essais d’étanchéité et pour réduire le temps de réponse pneumatique à des débits de 50 sccm ou moins.
Si vous avez besoin de procéder à un remplacement d’appoint pour un régulateur de débit massique thermique pré-existant, la série MCE permet de replier la vanne à l’intérieur pour adapter ses raccordements de process à la longueur standard SEMI. Pour les applications sous vide, le MCV ajoute une vanne à fermeture pneumatique intégrée au standard MCE.
BASIS constitue la gamme de régulateurs de débit massique compacts d’ALICAT conçus pour les applications OEM et les commandes en grande quantité.
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MC– Le régulateur de débit massique de gaz
BrochureManuelSpécifications MCSSpécifications MID MCSpécifications HIGH MC -
Régulateurs de débit massique de gaz à faible perte de charge de série MCW
BrochureManuelSpécifications MCW LOWSpécifications MCW MIDSpécifications MCW HIGH -
Régulateurs de débit massique de gaz à vide de série MCE et MCV
BrochureManuelSpécifications MCE LOWSpécifications MCE MIDSpécifications MCESSpécifications MCV LOWSpécifications MCV MIDSpécifications MCVS -
Régulateurs de débit massique de gaz de série BASIS pour équipementiers
BrochureSpécificationsManuel
modèle
MC– Le régulateur de débit massique de gaz
Contrôle réactif du débit de gaz pour aucune fluctuation de pression.
On ne demandera qu’une seule chose d’un bon régulateur de débit massique: maintenir le débit selon la consigne que vous lui donnerez. Le régulateur de débit massique de gaz de série MC d’ALICAT passe d’une consigne à une autre avec agilité et surtout s’y maintient parfaitement, et ce même en cas de pics de pression. Nous utilisons les paramètres propres à votre domaine d’application pour personnaliser le réglage de votre vanne et de vos réglages PID afin de vous garantir un contrôle rapide et stable.
- Polyvalence: Contrôlez la pression tout en surveillant les débits, et sélectionnez à la volée un autre étalonnage de gaz ou encore définissez votre propre composition de gaz grâce à notre logiciel COMPOSER™.
- Connexion: Bénéficiez d’une intégration facilitée à votre réseau industriel grâce aux diverses options de communication disponibles: Ethernet / IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU et TCP / IP) ou encore les options de communication en série.
- Durabilité: Les régulateurs de débit de la série MC peuvent temporairement faire l’objet d’écoulements de liquides sans courir le risque d’être détruits. Afin de protéger votre régulateur de conditions environnementales difficiles , nous pouvons également le doter d’une protection de type IP66.
La série MC d’ALICAT est dotée de petites vannes proportionnelles, elle est idéale pour la régulation à des débits faibles et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
La série MCP d’ALICAT offre le plus grand orifice possible dans un petit format de vanne et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
La série MCH d’ALICAT associe deux petites vannes fonctionnant côte à côte et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
La série MCR d’ALICAT est dotée des vannes Rolamite offrant pratiquement aucun frottement et d’une variété de modèles d’orifices pour la régulation à des débits élevés et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR
La série MCS d’ALICAT est dotée de petites vannes proportionnelles, elle est idéale pour la régulation à des débits faibles et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
La série MCHS d’ALICAT est adaptée à une utilisation avec des gaz corrosifs et associe deux vannes fonctionnant côte à côte pour vous offrir un meilleur contrôle à des pressions plus élevées.
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
La série MCRS d’ALICAT est adaptée à une utilisation avec des gaz corrosifs et utilise des vannes Rolamite pratiquement sans frottement ainsi qu’une variété de modèles d’orifices adaptés au contrôle à des débits élevés.
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR
modèle
Régulateurs de débit massique de gaz à haute pression de série MCQ
Contrôle réactif du débit de gaz pour les applications à haute pression
Notre régulateur de débit massique de série MCQ vous permet de retrouver la vitesse de contrôle de nos appareils de régulation standards sur des applications aux pressions de ligne plus élevées (160-320 psia). Ce régulateur de débit massique à haute pression passe d’une consigne à une autre avec agilité et surtout s’y maintient parfaitement, et ce même en cas de pics de pression. Nous utilisons les paramètres propres à votre domaine d’application pour personnaliser le réglage de votre vanne et de vos réglages PID afin de vous garantir un contrôle rapide et stable.
- Polyvalence: Contrôlez la pression tout en surveillant les débits, et sélectionnez à la volée un autre étalonnage de gaz ou encore définissez votre propre composition de gaz grâce à notre logiciel COMPOSER™.
- Connexion: Bénéficiez d’une intégration facilitée à votre réseau industriel grâce aux diverses options de communication disponibles: Ethernet / IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU et TCP / IP) ou encore les options de communication en série.
- Durabilité: Les régulateurs de débit de la série MCQ peuvent temporairement faire l’objet d’écoulements de liquides sans courir le risque d’être détruits. Afin de protéger votre régulateur de conditions environnementales difficiles , nous pouvons également le doter d’une protection de type IP66.
La série MCQ d’ALICAT est dotée de petites vannes proportionnelles, elle est idéale pour la régulation à des débits faibles et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D
La série MCHQ d’ALICAT associe deux petites vannes fonctionnant côte à côte et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D
La série MCRQ d’ALICAT est dotée des vannes Rolamite offrant pratiquement aucun frottement et d’une variété de modèles d’orifices pour la régulation à des débits élevés et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR
La série MCHQS d’ALICAT est adaptée à une utilisation avec des gaz corrosifs et associe deux vannes fonctionnant côte à côte pour vous offrir un meilleur contrôle à des pressions plus élevées.
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D
La série MCQRS d’ALICAT est adaptée à une utilisation avec des gaz corrosifs et utilise des vannes Rolamite pratiquement sans frottement ainsi qu’une variété de modèles d’orifices adaptés au contrôle à des débits élevés.
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR
modèle
Régulateurs de débit massique de gaz à faible perte de charge de série MCW
Contrôle réactif du débit de gaz pour un impact minimal sur le système
Nos régulateurs de débit massique de la série «Whisper» à faible perte de charge sont le choix idéal pour contrôler les débits massiques et volumétriques lorsque la pression du système disponible est faible. Une faible perte de charge minimise l’impact du système, permettant le contrôle du débit à des pressions proches de la pression atmosphérique et raccourcissant les temps de réponse du système. Nous utilisons les paramètres propres à votre domaine d’application pour personnaliser le réglage de votre vanne et de vos réglages PID afin de vous garantir un contrôle rapide et stable tout en maintenant une faible perte de charge.
- Polyvalence: Contrôlez la pression tout en surveillant les débits, et sélectionnez à la volée un autre étalonnage de gaz ou encore définissez votre propre composition de gaz grâce à notre logiciel COMPOSER™.
- Connexion: Bénéficiez d’une intégration facilitée à votre réseau industriel grâce aux diverses options de communication disponibles: Ethernet / IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU et TCP / IP) ou encore les options de communication en série.
- Durabilité: Les régulateurs de débit de la série MCW peuvent temporairement faire l’objet d’écoulements de liquides sans courir le risque d’être détruits. Afin de protéger votre régulateur de conditions environnementales difficiles , nous pouvons également le doter d’une protection de type IP66.
La série MCW d’ALICAT est dotée de petites vannes proportionnelles, elle est idéale pour la régulation à des débits faibles et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
La série MCPW d’ALICAT offre le plus grand orifice possible dans un petit format de vanne et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
La série MCHW d’ALICAT associe deux petites vannes fonctionnant côte à côte et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
La série MCRW d’ALICAT est dotée des vannes Rolamite offrant pratiquement aucun frottement et d’une variété de modèles d’orifices pour la régulation à des débits élevés et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR
modèle
Régulateurs de débit massique de gaz à vide de série MCE et MCV
Mise à niveau facile pour les régulateurs de débits thermiques vieillissants
Mettez à jour vos appareils de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE ou MCV à la pointe de la technologie. Le modèle MCE vous permet de bénéficier de la même vitesse de temps de réponse que notre régulateur de débit massique standard. Cette série présente des raccords VCR ¼ » soudés et s’accorde bout à bout avec les régulateurs de débit massique aux standards SEMI.
Le MCV associe le MCE à une vanne d’arrêt pneumatique intégrée pour les applications de vide intensives. Il vous suffira de raccorder une conduite d’air à la vanne d’arrêt pour éviter toute contamination pendant les conditions de consignes à zéro.
- Polyvalence: Contrôlez la pression tout en surveillant les débits, et sélectionnez à la volée un autre étalonnage de gaz ou encore définissez votre propre composition de gaz grâce à notre logiciel COMPOSER™.
- Connexion: Bénéficiez d’une intégration facilitée à votre réseau industriel grâce aux diverses options de communication disponibles: Ethernet / IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU et TCP / IP) ou encore les options de communication en série.
- Durabilité: Les régulateurs de débit de la série MCE et MCV peuvent temporairement faire l’objet d’écoulements de liquides sans courir le risque d’être détruits.
La série MCE d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D
La série MCES d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz corrosifs.
MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D
La série MCV d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz corrosifs. Le MCV intègre également une vanne d’arrêt pneumatique située en aval.
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
La série MCVS d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz corrosifs. Le MCV intègre également une vanne d’arrêt pneumatique située en aval.
MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D
modèle
Régulateurs de débit massique de gaz de série BASIS pour équipementiers
Assurer le contrôle du débit, une mesure clé pour les applications d’équipementiers
Les régulateurs de débit massique BASIS™ offrent un contrôle du débit de gaz à la fois fiable et facilement reproductible sous une présentation compacte et économique, idéale pour les commandes de grande quantité. Ces régulateurs ont été conçus pour une intégration simplifiée au sein de n’importe quels produits d’équipementiers, alliant un faible encombrement, ainsi qu’un capteur MEMS de haute précision à la vitesse de contrôle des vannes d’ALICAT.
- Fiabilité. Les régulateurs BASIS ne vous laisseront pas tomber. La précision homologuée au NIST et le contrôle à usage reproductible vous garantissent un fonctionnement constant, régulier et sans pertes que ce soit après un jour ou plusieurs centaines de jours d’utilisation.
- Sensibilité. Ne vous stressez plus pour les pics de pression. La vitesse de régulation et le réglage de la vanne PD, deux caractéristiques à la pointe de la technologie, dotent nos régulateurs de débit massique BASIS d’une capacité de devancer les imprévus.
- Compatibilité. Gagnez en ingéniosité avec les régulateurs BASIS. Grâce à un faible encombrement, un calibrage pour plusieurs gaz et une double communication analogique-numérique, votre équipe de travail bénéficiera d’une plus grande flexibilité de conception.
BC-C0100 (1-100 sccm)
BC-C1000 (10-1000 sccm)
BC-L0020 (0,2-20 Nlpm)
