Débit
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- Régulateur de débit massique de gaz
Les régulateurs de débit massique de gaz doivent être rapides et précis pour permettre un débit stable. Nos régulateurs de débit massique répondent aux consignes plus rapidement que tous leurs concurrents, ce qui leur permettentde supprimer les fluctuations de la pression de ligne avant qu’elles ne puissent affecter votre processus en aval. Les options de vanne personnalisées et le réglage PID garantissent que votre régulateur aura le fonctionnement adéquat selon votre domaine d’application.
La série MC est constituée par nos régulateurs de débit massique standard, avec des modèles pouvant mesurer des débits aussi élevés que 5000 Nlpm (sous conditions standards) ou aussi bas que 0,0025 sccm. Faites le choix du régulateur MCQ lorsque vos pressions de ligne sont élevées (145-305 psi). La série MCW est idéale pour les applications à faible perte de charge, les essais d’étanchéité et pour réduire le temps de réponse pneumatique à des débits de 50 sccm ou moins.
Si vous avez besoin de procéder à un remplacement d’appoint pour un régulateur de débit massique thermique pré-existant, la série MCE permet de replier la vanne à l’intérieur pour adapter ses raccordements de process à la longueur standard SEMI. Pour les applications sous vide, le MCV ajoute une vanne à fermeture pneumatique intégrée au standard MCE.
BASIS constitue la gamme de régulateurs de débit massique compacts d’ALICAT conçus pour les applications OEM et les commandes en grande quantité.
Le barbotage pour le contrôle du pH (MC)
Régulez les débits massiques sur une large plage de débit avec des ajustements rapides pour s’adapter aux changements de débit.
Des tests d’étanchéité encore plus rapides (MCW)
Un régulateur de débit massique de série « Whisper » réglé pour contrôler la pression permet de vous faire bénéficier à la fois des fonctions d’un régulateur de pression et d’un débitmètre massique dans un seul et même appareil.
La régulation de débit de gaz pour pulvérisation cathodique réactive (MCV)
Régulez avec précision les pressions partielles des gaz réactifs dans la chambre à vide tout en bénéficiant d’une fermeture étanche dans des conditions sans débit avec la vanne pneumatique.
La régulation de débit pour les analyseurs de gaz d’équipementiers (BASIS)
Sa petite taille, sa capacité de relevé de contrôle instantané et de double communication font de BASIS un produit facile à intégrer dans vos produits.
Contrôle réactif du débit de gaz pour aucune fluctuation de pression.
On ne demandera qu’une seule chose d’un bon régulateur de débit massique: maintenir le débit selon la consigne que vous lui donnerez. Le régulateur de débit massique de gaz de série MC d’ALICAT passe d’une consigne à une autre avec agilité et surtout s’y maintient parfaitement, et ce même en cas de pics de pression. Nous utilisons les paramètres propres à votre domaine d’application pour personnaliser le réglage de votre vanne et de vos réglages PID afin de vous garantir un contrôle rapide et stable.
Performance
Conditions de fonctionnement
À l’intérieur du kit
Accessoires (vendus séparément)
Options de vanne
Votre régulateur de débit massique peut être personnalisé avec l’une des options de vannes suivantes pour garantir des performances optimales dans les conditions de processus que vous recherchez.
Gaz corrosifs (série MCS)
Les appareils de la série standard MC sont également disponibles avec une configuration optionnelle dite « S » (MCS) pour une utilisation avec des gaz corrosifs. Sous cette configuration, nous dotons la vanne d’un acier inoxydable 303, le capteur d’un acier inoxydable 316L et les élastomères sont réalisés en perfluoroélastomères (FFKM). Certains gaz corrosifs nécessitent de l’acier inoxydable 316L tout le long du circuit d’écoulement, dans ce cas, nous pouvons améliorer à la fois la vanne (type PCA) et le corps d’écoulement en acier 316L pour recevoir des fourchettes de débit à grande échelle de 20 Nlpm ou moins.
Options de construction
Options de performance
La série MC d’ALICAT est dotée de petites vannes proportionnelles, elle est idéale pour la régulation à des débits faibles et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D
La série MCP d’ALICAT offre le plus grand orifice possible dans un petit format de vanne et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D
La série MCH d’ALICAT associe deux petites vannes fonctionnant côte à côte et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D
MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D
La série MCR d’ALICAT est dotée des vannes Rolamite offrant pratiquement aucun frottement et d’une variété de modèles d’orifices pour la régulation à des débits élevés et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR
La série MCS d’ALICAT est dotée de petites vannes proportionnelles, elle est idéale pour la régulation à des débits faibles et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
MCS-200SCCM-D
MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D
La série MCHS d’ALICAT est adaptée à une utilisation avec des gaz corrosifs et associe deux vannes fonctionnant côte à côte pour vous offrir un meilleur contrôle à des pressions plus élevées.
MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D
La série MCRS d’ALICAT est adaptée à une utilisation avec des gaz corrosifs et utilise des vannes Rolamite pratiquement sans frottement ainsi qu’une variété de modèles d’orifices adaptés au contrôle à des débits élevés.
MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR
Le barbotage pour le contrôle du pH (MC)
Régulez les débits massiques sur une large plage de débit avec des ajustements rapides pour s’adapter aux changements de débit. Le retour numérique depuis un ordinateur ou un automate (API) permet de modifier en temps réel la consigne du débit afin de maintenir des conditions de process optimales.
Système de mélange de gaz personnalisé
Les régulateurs de débit massique d’ALICAT sont parfaitement adaptés à la création de systèmes de mélange de gaz personnalisés. Leur flexibilité inhérente et leur grande adaptabilité donnent des résultats efficaces dans ce domaine d’application.
Contrôle du débit massique à haute température
Les options électroniques à distance d’ALICAT permettent d’isoler l’électronique des capteurs du corps d’écoulement. Cette caractéristique à l’avantage de permettre de faire circuler des gaz à des températures plus élevées à travers le corps d’écoulement sans risque de soumettre l’électronique du régulateur à des températures qui seraient au-delà de ce qu’il peut supporter.
Contrôle réactif du débit de gaz pour les applications à haute pression
Notre régulateur de débit massique de série MCQ vous permet de retrouver la vitesse de contrôle de nos appareils de régulation standards sur des applications aux pressions de ligne plus élevées (160-320 psia). Ce régulateur de débit massique à haute pression passe d’une consigne à une autre avec agilité et surtout s’y maintient parfaitement, et ce même en cas de pics de pression. Nous utilisons les paramètres propres à votre domaine d’application pour personnaliser le réglage de votre vanne et de vos réglages PID afin de vous garantir un contrôle rapide et stable.
Performance
Conditions de fonctionnement
À l’intérieur du kit
Accessoires (vendus séparément)
Options de vanne
Votre régulateur de débit massique peut être personnalisé avec l’une des options de vannes suivantes pour garantir des performances optimales dans les conditions de processus que vous recherchez.
Options de construction
Options de performance
La série MCQ d’ALICAT est dotée de petites vannes proportionnelles, elle est idéale pour la régulation à des débits faibles et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCQ-10SCCM-D
MCQ-20SCCM-D
MCQ-50SCCM-D
MCQ-100SCCM-D
MCQ-200SCCM-D
MCQ-500SCCM-D
MCQ-1SLPM-D
MCQ-2SLPM-D
MCQ-5SLPM-D
MCQ-10SLPM-D
MCQ-20SLPM-D
La série MCHQ d’ALICAT associe deux petites vannes fonctionnant côte à côte et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCHQ-10SLPM-D
MCHQ-20SLPM-D
MCHQ-50SLPM-D
MCHQ-100SLPM-D
MCHQ-250SLPM-D
La série MCRQ d’ALICAT est dotée des vannes Rolamite offrant pratiquement aucun frottement et d’une variété de modèles d’orifices pour la régulation à des débits élevés et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCRQ-50SLPM-D
MCRQ-100SLPM-D
MCRQ-250SLPM-D
MCRQ-500SLPM-D
MCRQ-1000SLPM-D
MCRQ-2000SLPM-D-PAR
MCRQ-3000SLPM-D-PAR
MCRHQ-5000SLPM-D-PAR
La série MCHQS d’ALICAT est adaptée à une utilisation avec des gaz corrosifs et associe deux vannes fonctionnant côte à côte pour vous offrir un meilleur contrôle à des pressions plus élevées.
MCHQS-10SLPM-D
MCHQS-20SLPM-D
MCHQS-50SLPM-D
MCHQS-100SLPM-D
MCHQS-250SLPM-D
La série MCQRS d’ALICAT est adaptée à une utilisation avec des gaz corrosifs et utilise des vannes Rolamite pratiquement sans frottement ainsi qu’une variété de modèles d’orifices adaptés au contrôle à des débits élevés.
MCRQS-50SLPM-D
MCRQS-100SLPM-D
MCRQS-250SLPM-D
MCRQS-500SLPM-D
MCRQS-1000SLPM-D
MCRQS-2000SLPM-D-PAR
MCRQS-3000SLPM-D-PAR
MCRHQS-5000SLPM-D-PAR
Contrôle réactif du débit de gaz pour un impact minimal sur le système
Nos régulateurs de débit massique de la série «Whisper» à faible perte de charge sont le choix idéal pour contrôler les débits massiques et volumétriques lorsque la pression du système disponible est faible. Une faible perte de charge minimise l’impact du système, permettant le contrôle du débit à des pressions proches de la pression atmosphérique et raccourcissant les temps de réponse du système. Nous utilisons les paramètres propres à votre domaine d’application pour personnaliser le réglage de votre vanne et de vos réglages PID afin de vous garantir un contrôle rapide et stable tout en maintenant une faible perte de charge.
Performance
Conditions de fonctionnement
À l’intérieur du kit
Accessoires (vendus séparément)
Options de vanne
Votre régulateur de débit massique peut être personnalisé avec l’une des options de vannes suivantes pour garantir des performances optimales dans les conditions de processus que vous recherchez.
Options de construction
Options de performance
La série MCW d’ALICAT est dotée de petites vannes proportionnelles, elle est idéale pour la régulation à des débits faibles et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCW-0.5SCCM-D
MCW-1SCCM-D
MCW-2SCCM-D
MCW-5SCCM-D
MCW-10SCCM-D
MCW-20SCCM-D
MCW-50SCCM-D
MCW-100SCCM-D
MCW-200SCCM-D
MCW-500SCCM-D
MCW-1SLPM-D
MCW-2SLPM-D
La série MCPW d’ALICAT offre le plus grand orifice possible dans un petit format de vanne et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCPW-5SLPM-D
MCPW-10SLPM-D
La série MCHW d’ALICAT associe deux petites vannes fonctionnant côte à côte et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCHW-5SLPM-D
MCHW-10SLPM-D
La série MCRW d’ALICAT est dotée des vannes Rolamite offrant pratiquement aucun frottement et d’une variété de modèles d’orifices pour la régulation à des débits élevés et convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCRW-5SLPM-D
MCRW-10SLPM-D
MCRW-20SLPM-D
MCRW-40SLPM-D
MCRW-50SLPM-D
MCRW-100SLPM-D
MCRW-250SLPM-D
MCRW-500SLPM-D
MCRWH-1000SLPM-D-PAR
Des tests d’étanchéité encore plus rapides
Le régulateur de débit massique de série MCW dit «Whisper» réglé pour contrôler la pression permet de vous assurer une pression constante sur l’appareil testé tout en vous fournissant un relevé précis du débit massique et volumétrique en temps réel. Configuré de cette façon, le modèle « Whisper vous offre les fonctions à la fois d’un régulateur de pression et celles d’un débitmètre massique dans un seul et même appareil.
Mise à niveau facile pour les régulateurs de débits thermiques vieillissants
Mettez à jour vos appareils de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE ou MCV à la pointe de la technologie. Le modèle MCE vous permet de bénéficier de la même vitesse de temps de réponse que notre régulateur de débit massique standard. Cette série présente des raccords VCR ¼ » soudés et s’accorde bout à bout avec les régulateurs de débit massique aux standards SEMI.
Le MCV associe le MCE à une vanne d’arrêt pneumatique intégrée pour les applications de vide intensives. Il vous suffira de raccorder une conduite d’air à la vanne d’arrêt pour éviter toute contamination pendant les conditions de consignes à zéro.
Performance
Conditions de fonctionnement
À l’intérieur du kit
Accessoires (vendus séparément)
Options de vanne
Votre régulateur de débit massique peut être personnalisé avec l’une des options de vannes suivantes pour garantir des performances optimales dans les conditions de processus que vous recherchez.
Gaz corrosifs (série MCES et MCVS)
Les appareils de la série standard MCE et MCV sont également disponibles avec une configuration optionnelle dite « S » (MCES et MCVS) pour une utilisation avec des gaz corrosifs. Sous cette configuration, nous dotons la vanne d’un acier inoxydable 303, le capteur d’un acier inoxydable 316L et les élastomères sont réalisés en perfluoroélastomères (FFKM).
Options de construction
Options de performance
La série MCE d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.
MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D
La série MCES d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz corrosifs.
MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D
La série MCV d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz corrosifs. Le MCV intègre également une vanne d’arrêt pneumatique située en aval.
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
La série MCVS d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz corrosifs. Le MCV intègre également une vanne d’arrêt pneumatique située en aval.
MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D
La régulation de débit de gaz pour pulvérisation cathodique réactive
Régulez avec précision les pressions partielles des gaz réactifs dans la chambre à vide avec des temps de réponses de contrôle de l’ordre de 50-ms afin de prévenir tout risque de contamination de la cible. La résolution fine assure la libération correcte des atomes. Enfin maintenez une fermeture étanche dans des conditions sans débit avec la vanne pneumatique.
La mise à niveau de vos anciens régulateurs de débit massique thermique permet à ALICAT de faciliter l’intégration du revêtement sous vide.
Assurer le contrôle du débit, une mesure clé pour les applications d’équipementiers
Les régulateurs de débit massique BASIS™ offrent un contrôle du débit de gaz à la fois fiable et facilement reproductible sous une présentation compacte et économique, idéale pour les commandes de grande quantité. Ces régulateurs ont été conçus pour une intégration simplifiée au sein de n’importe quels produits d’équipementiers, alliant un faible encombrement, ainsi qu’un capteur MEMS de haute précision à la vitesse de contrôle des vannes d’ALICAT.
Performance
Conditions de fonctionnement
À l’intérieur du kit
Accessoires (vendus séparément)
Options de construction
BC-C0100 (1-100 sccm)
BC-C1000 (10-1000 sccm)
BC-L0020 (0,2-20 Nlpm)
La régulation de débit pour les analyseurs de gaz d’équipementiers
Faites en sorte que vos produits d’analyseur d’équipementiers prennent des mesures précises. La vitesse du temps de réponse de la vanne associée à la très bonne précision du régulateur permettent des débits de gaz à la fois stables et reproductibles auprès des capteurs de l’analyseur. De même, sa petite taille, sa capacité de relevé de contrôle instantané et de double communication font de BASIS un produit facile à intégrer dans vos produits.
Mélange de gaz automatisé
Dotez vos mélangeurs de gaz des régulateurs de débit massique de série BASIS, grâce à leur réactivité instantanée vous serez à même de mesurer le débit avec une très haute précision. Les données analogiques et numériques retransmises vers un automate (API) ou un ordinateur vous permettent de modifier en temps réel la consigne du débit et d’ainsi maintenir la composition souhaitée pour votre mélange gazeux.
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