Débit

Régulateur de débit massique de gaz

Les régulateurs de débit massique de gaz doivent être rapides et précis pour permettre un débit stable. Nos régulateurs de débit massique répondent aux consignes plus rapidement que tous leurs concurrents, ce qui leur permettentde supprimer les fluctuations de la pression de ligne avant qu’elles ne puissent affecter votre processus en aval. Les options de vanne personnalisées et le réglage PID garantissent que votre régulateur aura le fonctionnement adéquat selon votre domaine d’application.

La série MC est constituée par nos régulateurs de débit massique standard, avec des modèles pouvant mesurer des débits aussi élevés que 5000 Nlpm (sous conditions standards) ou aussi bas que 0,0025 sccm. Faites le choix du régulateur MCQ lorsque vos pressions de ligne sont élevées (145-305 psi). La série MCW est idéale pour les applications à faible perte de charge, les essais d’étanchéité et pour réduire le temps de réponse pneumatique à des débits de 50 sccm ou moins.

Si vous avez besoin de procéder à un remplacement d’appoint pour un régulateur de débit massique thermique pré-existant, la série MCE permet de replier la vanne à l’intérieur pour adapter ses raccordements de process à la longueur standard SEMI. Pour les applications sous vide, le MCV ajoute une vanne à fermeture pneumatique intégrée au standard MCE.

BASIS constitue la gamme de régulateurs de débit massique compacts d’ALICAT conçus pour les applications OEM et les commandes en grande quantité.

Le barbotage pour le contrôle du pH (MC)

Régulez les débits massiques sur une large plage de débit avec des ajustements rapides pour s’adapter aux changements de débit.

Des tests d’étanchéité encore plus rapides (MCW)

Un régulateur de débit massique de série « Whisper » réglé pour contrôler la pression permet de vous faire bénéficier à la fois des fonctions d’un régulateur de pression et d’un débitmètre massique dans un seul et même appareil.

La régulation de débit de gaz pour pulvérisation cathodique réactive (MCV)

Régulez avec précision les pressions partielles des gaz réactifs dans la chambre à vide tout en bénéficiant d’une fermeture étanche dans des conditions sans débit avec la vanne pneumatique.

La régulation de débit pour les analyseurs de gaz d’équipementiers (BASIS)

Sa petite taille, sa capacité de relevé de contrôle instantané et de double communication font de BASIS un produit facile à intégrer dans vos produits.

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