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- MCES-Series: Controladores de Flujo de Masa de Gas Estándar SEMI Anticorrosivo
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MCES-Series: Controladores de Flujo de Masa de Gas Estándar SEMI Anticorrosivo
Los Controladores de Flujo de Masa de Gas Estándar MCE-Series SEMI anticorrosivo están equipados con accesorios VCR de 1/4″ y combinan de extremo a extremo con los MFC estándar SEMI, para facilitar las actualizaciones directas a los accesorios de deposición al vacío. Controle el flujo de masa o la presión de más de 128 gases (incluidos más de 30 corrosivos).
- Compatibilidad perfecta. El factor de forma incluye accesorios de VCR soldados de 1/4″ y coincide con la longitud de extremo a extremo de 124 mm de los MFC estándar SEMI.
- Compatibilidad con gases agresivos. Materiales humedecidos compatibles con más de 30 gases corrosivos puros y la mayoría de los gases refrigerantes.
- Control rápido, datos multivariantes. Tiempos de respuesta de milisegundos inmediatamente después de encenderlo, para controlar el flujo de masa, el flujo volumétrico o la presión y mostrar lecturas instantáneas de flujo, presión y temperatura, en su elección de unidades de ingeniería.
- Fácil integración. Puertos de proceso personalizados y conectores eléctricos, y su elección entre EtherNet/IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU y TCP/IP) o comunicaciones en serie para una fácil integración en su proceso industrial.
Especificaciones del dispositivo y opciones de personalización
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- Nuestro equipo experto de ingenieros en aplicaciones está disponible para proporcionar información adicional, discutir su solicitud o responder cualquier pregunta que pueda tener.