MCE-Series: Controladores de Flujo de Masa de Gas Estándar SEMI
Los Controladores de Flujo de Masa de Gas Estándar MCE-Series SEMI están equipados con accesorios VCR de 1/4″ y combinan de extremo a extremo con los MFC estándar SEMI, para facilitar las actualizaciones directas a los accesorios de deposición al vacío. Controle el flujo de masa o la presión de más de 98 gases.
- Compatibilidad perfecta. El factor de forma incluye accesorios de VCR soldados de 1/4″ y coincide con la longitud de extremo a extremo de 124 mm de los MFC estándar SEMI.
- Versátil y preciso. Control en tiempo real con precisión trazable por el NIST para ±0.6% de lectura o ±0.1% de escala completa para más de 98 gases y 20 mezclas definidas a medida.
- Control rápido, datos multivariantes. Tiempos de respuesta de milisegundos inmediatamente después de encenderlo, para controlar el flujo de masa, el flujo volumétrico o la presión y mostrar lecturas instantáneas de flujo, presión y temperatura, en su elección de unidades de ingeniería.
- Fácil integración. Puertos de proceso personalizados y conectores eléctricos, y su elección entre EtherNet/IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU y TCP/IP) o comunicaciones en serie para una fácil integración en su proceso industrial.
SOLICITAR PRESUPUESTO
Accesorios incluidos con la compra
Especificaciones del dispositivo y opciones de personalización
Especificaciones Generales
Rendimiento de la Serie MCE (la mayoría de los productos)
- Rangos de Escala Completa Disponibles: 0.5 SCCM a 20 SLPM
- Rango de Control de Estado Estacionario: Escala Completa de 0.01% – 100%
- Calibración de Precisión Estándar, Trazable por NIST: ±0.6% de la lectura o ±0.1% de la escala completa, lo que sea mayor
- Calibración Opcional de Alta Precisión, Trazable por NIST: ±0.5% de la lectura o ±0.1% de la escala completa, lo que sea mayor
- Repetibilidad: ± (0.1% de lectura + 0.02% de escala completa)
- Tiempo de Respuesta de Control Típico: hasta 30 ms
- Tiempo de Calentamiento: <1 s
Condiciones de Funcionamiento de la Serie MCE
- Gases Compatibles: más de 98 calibraciones de gas seleccionables precargadas, incluidas mezclas de gas personalizadas
- Temperatura de Funcionamiento: –10°C a +60°C
- Presión de Funcionamiento a Escala Completa: 11 barA
- Presión Diferencial Máxima: 5.2 barD
- Presión de Prueba: 12 barA
- Condiciones de Referencia Seleccionables por el Usuario (valores predeterminados): 25°C y 1 ATM (STP) y 0°C y 1 ATM (NTP)
Rangos de Dispositivos y Especificaciones Completas
Los dispositivos tienen rangos personalizados desde 0.5 SCCM a escala completa hasta 20 SLPM a escala completa con rangos controlables de 0.01% a 100% de escala completa.
Para revisar una guía completa del dispositivo, lea el manual de operación del controlador de flujo de masa.
Características del Dispositivo
Incluido con Cada Dispositivo
- Mediciones de Proceso Multivariables: Mida simultáneamente el flujo de masa, el flujo volumétrico, la presión del gas y la temperatura del gas.
- Unidades de Medida Ajustables por Usuario: Cambie la unidad de medida para la presión, el flujo o la temperatura de nuestra extensa lista de unidades de ingeniería.
- Selectividad del Gas: Seleccione el gas de su proceso de cualquiera de las más de 98 calibraciones de gas trazables por NIST precargadas en nuestra lista de gases.
- Gas Select COMPOSER™: Defina 20 mezclas de gases personalizadas de hasta 5 gases constituyentes utilizando nuestro firmware Gas Select Composer™.
- LCD Retroiluminado Monocromo con Panel Táctil Integrado: Lea fácilmente las mediciones utilizando la pantalla retroiluminada y las configuraciones de control con el panel táctil integrado fácil de usar.
- Rampas y Límites de Punto de Referencia Ajustables por Usuario: Las velocidades de rampa configurables permiten que la variable de proceso se controle tan rápido o tan lento como se desee, y los límites de punto de referencia configurables protegen los procesos de cambios involuntarios en el punto de referencia.
- Condiciones de Temperatura y Presión Estándar (STP) Ajustables por Usuario: Rápidamente cambie las condiciones de referencia sin necesidad de recalibrar.
- Anulación de Cierre de Válvula y Anulación de Apertura de Válvula: Utilice alarmas para ventilar rápidamente su sistema o detener todo el flujo según sea necesario.
Solicitudes al Momento de la Compra | Gratis
- Totalizadores Integrados Opcionales y Control de Lotes: Totalice el flujo de masa cada 1 ms para un seguimiento preciso del flujo total a lo largo del tiempo y utilice el control de lotes para dispensar volúmenes precisos.
Solicitudes en el Momento de la Compra | Costo Adicional
- Control por Potenciómetro Integrado Opcional: Utilice el potenciómetro integrado para ajustar los puntos de referencia con el simple giro de una perilla.
Opciones de Personalización de Dispositivos
Opciones de fabricación y rendimiento
- Protocolos de comunicaciones: Analógico, RS–232, RS–485, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus RTU o TCP/IP, PROFIBUS
- Pantallas: Retroiluminadas monocromáticas o a color; integradas o montadas en panel
- Conexiones de proceso: conexiones de compresión, VCR o VCO
- Materiales humedecidos: Acero inoxidable 302, 303, 304, 316L y 430FR; FKM, cerámica de alúmina, latón, vidrio, oro, epoxi curado térmicamente, caucho de silicona curado térmicamente, poliamida, silicio
- Calibración: Alta precisión; puntos de calibración personalizados
Opciones de válvulas y ajuste PID
Su controlador de flujo de masa se puede personalizar con una de las siguientes opciones de valvula para garantizar un rendimiento óptimo en las condiciones de proceso esperadas.
- MCE: pequeña válvula de control proporcional montada internamente.
El ajuste personalizado de la válvula PID garantiza el máximo rendimiento para las condiciones específicas de su proceso.
Accesorios Opcionales
Accesorios | Se vende por separado
- Conexiones y filtros de puerto de proceso
- Fuentes de alimentación
- Cables de comunicaciones y cables de conversión
- Cajas de ruptura de multiderivación BB3 y BB9
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- Explore otras opciones de controlador de flujo de masa de gas, incluidos dispositivos de alta presión y anticorrosivos.
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- Nuestro equipo experto de ingenieros en aplicaciones está disponible para proporcionar información adicional, discutir su solicitud o responder cualquier pregunta que pueda tener.
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