Vakuumbeschichtung & Chemische Gasphasenabscheidung

Schnelle Instrumente für Vakuumbeschichtungs- und Abscheidungssysteme

Die Zufuhr von Spül- und Reaktivgasen in eine Vakuumbeschichtungsanlage erfordert eine schnelle Reaktion und präzise Steuerung.

Korrosive Gase und flüssige Ausgangsstoffe, die bei der chemischen Gasphasenabscheidung und der Atomlagenabscheidung (ALD) verwendet werden, erfordern Massendurchflussgeräte, die im Laufe der Zeit nicht korrodieren. Die Massendurchflussregler von Alicat verwenden Durchflusssensoren aus 316L-Edelstahl und FFKM-Elastomere, um den rauen Bedingungen standzuhalten.

Die Massendurchflussregler und Druckregler von Alicat bieten schnelle Regelungszeiten und EtherCAT-Kommunikation. Das integrierte EtherCAT ermöglicht eine einfache Integration in industrielle SPS-Netzwerke.

Upstream-Druckregelung für Vakuum-Abscheidungs-Systeme

Das Upgrade auf einen Alicat Massendurchflussregler ist einfach. Unsere MCE-Serie erfüllt die SEMI-Spezifikation für die Verbindungslänge, so dass sie mit vielen älteren MFCs anderer Hersteller kompatibel ist. Alicats MCV ist ein Ersatz für ältere MFCs mit integrierten pneumatischen Absperrventilen.

Ersatzteile für alternde Massendurchflussregler

Die korrosiven Gase und flüssigen Vorläufer, die bei chemischen Aufdampfungs- (CVD) – und Atomschichtabscheidungs- (ALD) -Prozessen verwendet werden, erfordern Massendurchflussinstrumente, die im Laufe der Zeit nicht korrodieren. Die Massendurchflussregler der S-Serie von Alicat (MC, MCES, MCVS) verwenden 316L Edelstahl-Durchflusssensoren und FFKM-Elastomere, um diesen harten Elementen standzuhalten.

Vacuum sputtering using Alicat MCV mass flow controllers

Schnelle O2-Flusskontrolle für reaktives Sputtern

Schützen Sie die Gleichmäßigkeit Ihrer Dünnfilmbeschichtungen mit einer schnelleren Kontrolle der Fließgeschwindigkeiten des reaktiven Gases. Alicats Reaktionszeit von 50 ms oder weniger sorgt dafür, dass die in Ihren reaktiven Sputterprozess eingebrachten reaktiven Gase konsistent und wiederholbar sind. Wir stellen die PID-Optimierung für jeden Durchflussregler basierend auf Ihren erwarteten Prozessbedingungen ein, und diese Einstellungen können jederzeit nach der Installation geändert werden, wenn sich Ihre Anforderungen ändern.

Reduzieren Sie die Kosten für Ihr Vakuumabscheidungssystem, indem Sie nachgeschaltete Drosselventile und PID-Steuerungsmodule durch den integrierten Vakuumregler (IVC) von Alicat ersetzen. Dieser Druckregler verfügt über ein vorgeschaltetes Regelventil mit einem integrierten kapazitiven Membran-Vakuumsensor, um die Notwendigkeit teurer externer Vakuummeter zu eliminieren.