Durchfluss

Modell

MCE- und MCV-Vakuum-Gasmassendurchflussregler

Einfaches Upgrade für alternde thermische Durchflussregler

Aktualisieren Sie Ihre Vakuum-Aufdampfvorrichtungen mit einem hochmodernen Alicat MCE oder MCV. Der MCE bietet das gleiche schnelle Regelverhalten unseres Standard-Massendurchflussreglers in einem Formfaktor, der geschweißte 1/4 „VCR-Fittings umfasst und durchgehend mit SEMI-Standard-MFCs konform ist.

Der MCV verschmilzt mit dem MCE zu einem integrierten pneumatischen Absperrventil für Anwendungen im Hochvakuum. Schließen Sie eine Luftleitung an das Absperrventil an, um eine Verunreinigung während Nullsollwertbedingungen zu verhindern.

  • Vielseitig. Kontrollieren Sie den Druck, während Sie die Durchflussraten überwachen, wählen Sie eine andere Gaskalibrierung im laufenden Betrieb aus oder definieren Sie Ihre eigene Gaszusammensetzung mit COMPOSER ™.
  • Verbindung. Einfache Integration in Ihr digitales Industrie-Netzwerk mit Ethernet / IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU und TCP / IP) oder seriellen Kommunikationsoptionen.
  • Beständig. MCE- und MCV-Durchflussregler können Flüssigkeiten zeitweise fließen lassen, ohne zerstört zu werden.

Performanz

  • Verfügbare Bereiche: max. 0-20 l/min iS, min. 0-0,5 cm³/min iS / 0-500 sμlm (siehe Registerkarte „Artikelnummern“ für Lagerbereiche)
  • Turndown-Verhältnis: 200: 1 (MCE / MCV) oder 100: 1 (MCES / MCVS)
  • Standardgenauigkeitskalibrierung, NIST-rückführbar: +/- (0,8% des Messwerts + 0,2% des gesamten Bereichs)
  • Optionale hochgenaue Kalibrierung, NIST-rückführbar: +/- (0,4% des Messwerts + 0,2% des gesamten Messbereichs)
  • Wiederholbarkeit: 0,2% des Skalenendwerts
  • Typische Reaktionszeitkonstante: 50-100 ms (bis zu 25 ms bei PID-Optimierung)
  • Pneumatische Ventilleckintegrität (nur MCV): 1 x 10-9 atm scc / sec Helium max
  • Keine Aufwärmzeit erforderlich

Betriebsbedingungen

  • Kompatible Gase: 98 (MCE / MCV) oder 130 (MCES / MCVS) voreingestellte wählbare Gaskalibrierungen; zusätzliche Mischungen, die mit  COMPOSER definierbar sind
  • Betriebstemperatur: -10 ° C bis + 60 ° C
  • Max. Innendruck (statisch): 10 barg (11 bara)
  • Prüfdruck: 12 barg (13 bara)
  • STP / NTP: vom Benutzer wählbar (standardmäßig 25 ° C und 1 atm STP / 0 ° C und 1 atm NTP)

Im Lieferumfang Ihres MCE oder MCV enthalten:

Modellvariationen

  • Geschlossenes Ventil mit SEMI-Port-Länge (MCE)
  • Geschlossenes Ventil mit zusätzlichem pneumatischem Absperrventil für Vakuumanwendungen (MCV)
  • Aggressive Gase (MCS, siehe unten)

Auch verfügbar:

  • Standardkonfiguration mit extern montiertem Ventil (MC)

Ventil Optionen

Ihr Massendurchflussregler kann mit einer der folgenden Ventiloptionen angepasst werden, um eine optimale Leistung unter den zu erwartenden Prozessbedingungen zu gewährleisten.

  • MCE – kleines Proportional-Steuerventil intern montiert
  • MCV – kleines proportionales Steuerventil, das intern angebracht wird, plus ein extern angebrachtes pneumatisches Absperrventil, das stromabwärts gelegen ist

Ätzende Gase (MCES- und MCVS-Serie)

Die Geräte der MCE- und MCV-Serie sind auch mit einer optionalen „S“ -Konfiguration (MCES und MCVS) für den Einsatz mit korrosiven Gasen erhältlich. In dieser Konfiguration rüsten wir das Ventil auf Edelstahl 303 auf, den Sensor auf Edelstahl 316L und die Elastomere auf FFKM.

Erstellungsoptionen

  • Kommunikationsprotokolle (analog, RS-232, RS-485, DeviceNet, EtherCAT, Ethernet / IP, Modbus RTU oder TCP / IP, PROFIBUS)
  • Displays (monochrom oder farbig, integriert oder panelmontiert)
  • Prozessanschlüsse (NPT, SAE, AN, BSPP / G, geschweißte Press- oder VCR / VCO-Armaturen)
  • Elastomere (Viton, FFKM, EPDM, Silikon)

Performanz-Optionen

Die MCE-Serie von Alicat verwendet intern montierte kleine Proportionalventile zur Steuerung bei niedrigeren Durchflussraten und ist für die Verwendung mit nicht korrosiven Gasen geeignet.

MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D

Die MCES-Serie von Alicat verwendet intern montierte kleine Proportionalventile zur Steuerung bei niedrigeren Durchflussraten und ist für den Einsatz mit korrosiven Gasen geeignet.

MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
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MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D

Die MCV-Serie von Alicat verwendet intern montierte kleine Proportionalventile zur Steuerung bei niedrigeren Durchflussraten und ist für die Verwendung mit nicht korrosiven Gasen geeignet. Der MCV enthält auch ein pneumatisches Absperrventil, das stromabwärts angeordnet ist.

MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
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MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D

Die MCVS-Serie von Alicat verwendet intern montierte kleine Proportionalventile zur Steuerung bei niedrigeren Durchflussraten und ist für die Verwendung mit korrosiven Gasen geeignet. Das MCVS enthält auch ein pneumatisches Absperrventil, das sich stromabwärts befindet.

MCVS-0.5SCCM-D
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Gasdurchflusskontrolle für reaktives Sputtern

Präzise Regelung der Partialdrücke von reaktiven Gasen in der Vakuumkammer mit schneller 50-ms-Regelreaktion zur Vermeidung von Ziel-Vergiftungen. Die feine Auflösung sorgt für die korrekte Freisetzung von Atomen. Mit dem Pneumatikventil Ausschaltung unter strömungsfreien Bedingungen erzielen.

 

Die Aufrüstung Ihrer alten thermischen Massendurchflussregler ist nur eine Möglichkeit, mit der Alicat die Vakuumbeschichtung vereinfacht.

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