MCE- und MCV-Vakuum-Gasmassendurchflussregler
Einfaches Upgrade für alternde thermische Durchflussregler
Aktualisieren Sie Ihre Vakuum-Aufdampfvorrichtungen mit einem hochmodernen Alicat MCE oder MCV. Der MCE bietet das gleiche schnelle Regelverhalten unseres Standard-Massendurchflussreglers in einem Formfaktor, der geschweißte 1/4 “VCR-Fittings umfasst und durchgehend mit SEMI-Standard-MFCs konform ist.
Der MCV verschmilzt mit dem MCE zu einem integrierten pneumatischen Absperrventil für Anwendungen im Hochvakuum. Schließen Sie eine Luftleitung an das Absperrventil an, um eine Verunreinigung während Nullsollwertbedingungen zu verhindern.
- Vielseitig. Kontrollieren Sie den Druck, während Sie die Durchflussraten überwachen, wählen Sie eine andere Gaskalibrierung im laufenden Betrieb aus oder definieren Sie Ihre eigene Gaszusammensetzung mit COMPOSER ™.
- Verbindung. Einfache Integration in Ihr digitales Industrie-Netzwerk mit Ethernet / IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU und TCP / IP) oder seriellen Kommunikationsoptionen.
- Beständig. MCE- und MCV-Durchflussregler können Flüssigkeiten zeitweise fließen lassen, ohne zerstört zu werden.
Die MCE-Serie von Alicat verwendet intern montierte kleine Proportionalventile zur Steuerung bei niedrigeren Durchflussraten und ist für die Verwendung mit nicht korrosiven Gasen geeignet.
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Die MCES-Serie von Alicat verwendet intern montierte kleine Proportionalventile zur Steuerung bei niedrigeren Durchflussraten und ist für den Einsatz mit korrosiven Gasen geeignet.
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Die MCV-Serie von Alicat verwendet intern montierte kleine Proportionalventile zur Steuerung bei niedrigeren Durchflussraten und ist für die Verwendung mit nicht korrosiven Gasen geeignet. Der MCV enthält auch ein pneumatisches Absperrventil, das stromabwärts angeordnet ist.
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Die MCVS-Serie von Alicat verwendet intern montierte kleine Proportionalventile zur Steuerung bei niedrigeren Durchflussraten und ist für die Verwendung mit korrosiven Gasen geeignet. Das MCVS enthält auch ein pneumatisches Absperrventil, das sich stromabwärts befindet.
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