Die meisten herkömmlichen Vakuumabscheidungswerkzeuge verwenden eine nachgeschaltete Drucksteuerung, um den Druck von Gasen in der Vakuumkammer aufrechtzuerhalten. Die Drosselklappenstellung kann Tausende von Dollar kosten. Es erfordert auch ein separates Steuermodul, um das Ventil zu versorgen, PID-Daten und Sollwert-Funktionalität bereitzustellen. Die Einstellung der Drosselklappe kann auch zu Verzögerungen beim Gaswechsel oder beim Warten auf das Gas in der Kammer führen.
Durch die Anordnung eines Kontrollinstruments vor der Kammer werden schnellere Reaktionszeiten und eine bessere Stabilität durch ein schnell wirkendes, proportionales Regelventil erreicht. Das vorgelagerte Verfahren macht außerdem die Notwendigkeit von zusätzlichen Ventilen, den Bedarf an Schneidausrüstung und die Einrichtung von Kosten überflüssig. Alicat-Instrumente bieten diese Alternative.
Der Alicat PC-EXTSEN
Alicat PC-EXTSEN-Druckregler mit externem Sensoranschluss
Bei größeren Projekten oder OEM-Projekten ist der Druckregler Alicat PC-EXTSEN (externer Sensor) in der Lage, die Vakuumpegel zu steuern, während er stromaufwärts von der Kammer montiert wird. Diese Serie wird verwendet, wenn der Prozessdruck im Hoch- oder Ultrahochvakuum ist und ein externes Messgerät benötigt wird. Der PC-EXTSEN nimmt ein analoges Signal vom Sensor auf und regelt über ein Proportionalventil.
Durch das Hinzufügen eines externen Drucksensors ist es möglich, den Kammerdruck genauer aufrechtzuerhalten, während es dem Benutzer auch möglich ist, die verwendeten Gase unabhängig von dem Vakuumabscheidungssystem als Ganzes zu ändern oder einzustellen. Dies ermöglicht eine schnellere Anwendung von neutralen Gasen, verbesserte Kontrolle und konstante Druckniveaus in der Beschichtungsumgebung.
Der PC-EXTSEN-Druckregler versorgt das externe Vakuummessgerät mit Strom und ist mit allen Messverfahren kompatibel, einschließlich Ionen-, Pirani und Kaltkathoden sowie aktiven oder passiven Messgeräten und Kombinationsmessgeräten.
Die integrierten Alicat-Vakuumregler (IVC)
Alicat PC-IVC-Druckregler mit integriertem Sensor
Für kleinere Experimente und Projekte, bei denen kein Vakuummeter vorhanden ist, ist der Alicat IVC die Lösung. Wie das PC-EXTSEN, eliminiert es den Großteil, die Kompliziertheit und die Kosten der traditionellen Drosselventildruckkontrollmethode. Der IVC beinhaltet einen direkt in das Gerät integrierten Vakuumsensor, der es ermöglicht, den Druck in einer Vakuumkammer direkt aus der Box zu kontrollieren. Diese Sensoren können mit hoher Genauigkeit in niedrigen Bereichen arbeiten, so niedrig wie 10 Millitorr. Der IVC beinhaltet auch eine PID-Regelung direkt vom Gerät und einen pneumatisch isolierten Sensor, der eine höhere Genauigkeit im Vergleich zu anderen Lösungen auf dem Markt gewährleistet, mit präziser Messung der Kammer- und Gasunabhängigkeit.
Das Platzieren von Drucksteuervorrichtungen stromaufwärts der Kammer in Vakuumbeschichtungsanwendungen spart Zeit und Kosten und erhöht die Genauigkeit bei Vakuumabscheidungswerkzeugen.
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