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Un Contrôle Précis du Débit Massique Améliore les Résultats des Revêtements sous Vide

Les gammes MCE-Series et MCV-Series d’Alicat sont des remplacements directs pour les contrôleurs de débit massique courants de l’industrie

Tucson, Arizona (28 octobre 2016) – Les contrôleurs de débit massique d’Alicat Scientific assurent un environnement de revêtement optimal dans les chambres à vide, préservant l’intégrité du produit dans les processus de revêtement et de pulvérisation [sputtering, en anglais]. Les MCE-Series et MCV-Series peuvent être utilisés pour remplacer les instruments MKS existants et hors de production. Conçus pour s’adapter au même encombrement que les régulateurs de débit massique courants, les deux séries sont faciles à intégrer dans les systèmes existants. En cours d’utilisation, ils offrent un contrôle de flux rapide et précis pour l’uniformité et la qualité du processus.

MCV and MCE mass flow controllers for vacuum coating

Les MCE-Series et MCV-Series d’Alicat peuvent être utilisés comme remplacements directs pour les contrôleurs de débit massique courants de l’industrie.

Les Alicat MCE et MCV contrôlent avec précision des débits de gaz aussi bas que 0-0,5 sccm à pleine échelle ou aussi élevés que 0-20 slpm à pleine échelle avec des temps de réponse de contrôle de 50 à 100 millisecondes. Des temps de réponse rapides peuvent grandement améliorer les produits finis de revêtement sous vide et aider à éliminer l’empoisonnement de la cible [target poisoning]. La vanne d’arrêt pneumatique intégrée est normalement fermée, ce qui permet une coupure positive de 1 x 10-9 atm-sccm/sec Helium max.

Le MCE peut être utilisé en remplacement de l’ancien modèle MKS 1179A Mass-Flo®, tandis que le MCV remplace le modèle MKS 2179A Mass-Flo® hors de production. Les contrôleurs de débit massique Alicat fonctionnent avec une alimentation universelle de 12 à 30 V CD et Alicat correspondra à n’importe quelle broche préexistante sur les connecteurs D-sub de 9 ou 15 broches, pour un remplacement facile. Les unités peuvent être montées dans n’importe quelle orientation, même à l’envers, sans recalibrage, simplifiant davantage les installations.

Préprogrammé avec des étalonnages pour 98 gaz, le MCE et le MCV mesurent le débit massique, le débit volumique, la pression absolue et la température, avec compensation complète de la température et de la pression. Les unités peuvent être programmées directement via le clavier de l’instrument ou à distance via RS-232 (RS-485 également disponible).

Le MCE et le MCV utilisent une technologie de pression différentielle à écoulement laminaire (DP) brevetée, présente dans de nombreux instruments de mesure de débit Alicat Scientific, fournies avec la certification traçable NIST et portent la marque CE.

* Le Type MKS 1179A Mass-Flo® et le Type MKS 2179A Mass-Flo® sont des marques déposées de MKS, Instruments, Inc.  Aucune affiliation, endossement ou parrainage n’est déclaré ou implicite.

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