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Filtres et éléments
Les débitmètres massiques et les régulateurs ALICAT exigent que les gaz soient propres et exempts de particules de plus de 5 à 50 microns, en fonction de la plage de débit de l’instrument. Nos filtres frittés “en ligne” empêchent les particules supérieurs d’entrer dans la tête de mesure de l’instrument.
Selon l’instrument de débit massique que vous utilisez, voici les tailles de particules maximales préconisées:
- Plages de débit de 0-1 sccm ou moins: maximum 5 microns (5 μm)
- Débit compris entre 0-2 sccm et 0-500 sccm: maximum 20 microns (20 μm)
- Plage de débit de 0-1 Nlpm ou plus: maximum 50 microns (50 μm)
Filtres en ligne
Nos filtres en ligne se vissent directement dans le raccord fileté d’entrée de votre débitmètre massique ou régulateur de débit massique. Sélectionnez le filtre qui suit en fonction de la taille du port de votre instrument de débit massique et de sa plage utile complète.
Les éléments filtrants ne sont pas amovibles pour la taille UNF # 10-32:
- # 10-32 UNF, 0-1 sccm ou moins: 510053 (5 microns)
- # 10-32 UNF, 0-2 sccm à 0-50 sccm: 510054 (20 microns)
Les filtres pour les connexions de process NPT comportent des éléments de filtre accessibles à l’utilisateur pouvant être facilement remplaçables:
- 1/8 “NPT, 0-100 sccm à 0-20 slpm: ILF-1 / 8-20 (20 microns)
- 1/4 “NPT, 0-50 slpm à 0-100 slpm: ILF-1 / 4-40 (40 microns)
- 1/2 “NPT, 0-250 slpm: ILF-1 / 2-40 (40 microns)
- 3/4 “NPT, 0-500 slpm à 0-2000 slpm: ILF-3 / 4-40 (40 microns)
Éléments filtrants frittés
Ces éléments filtrants frittés remplacent les éléments fournis avec nos filtres ILF. Chaque remplacement d’élément de filtre comprend des joints toriques neufs. Les éléments filtrants sont disponibles dans les tailles suivantes:
- 1/8 “NPT (3,17 mm) (ILF-1 / 8-20): ILFE20 (20 microns)
- 1/4 “NPT (6,35 mm)(ILF-1 / 4-40): ILFE40 (40 microns)
- 1/2 “NPT (12,7 mm)(ILF-1 / 2-40): ILFE40L (40 microns)
- 3/4 “NPT (19,05 mm)(ILF-3 / 4-40): ILFE40L (40 microns)
