Dünnschichtabscheidung
Die Herstellung gleichmäßiger Beschichtungen erfordert eine schnelle und präzise Gaszufuhr in Vakuumbeschichtungsanlagen. Dies ist bei Dünnschichtanwendungen von der Herstellung synthetischer Diamanten bis hin zu photovoltaischen Beschichtungen entscheidend.
Optimierung von Dünnschichtabscheidungsanlagen für maximalen Durchsatz und höchste Schichtqualität
Alicat bietet eine Reihe von kundenspezifischen Lösungen an, die speziell für die Aufrüstung bestehender Vakuumanlagen entwickelt wurden.
- Keine Aufwärmphase. Die Ablagerungszyklen können unmittelbar nach dem Einschalten der Durchflussgeräte beginnen.
- Reaktionszeit von einer Millisekunde. Die Durchfluss- und Druckregler reagieren sofort auf Änderungen der Prozessbedingungen, maximieren die Gleichmäßigkeit und minimieren den Abfall.
- Kompatibilität mit mehreren Gasen. Ein einziges Gerät kann alle für den Abscheidungsprozess benötigten Gase mit hoher Genauigkeit leiten.
Vorgeschaltete Druckregelung zur Erhöhung der Stabilität und Geschwindigkeit bei der Ablagerung
Anwendungen
Durchfluss in vollem Umfang, der sich nicht durch Gase oder Prozessbedingungen verändert
Alicat-Geräte sind vorinstalliert mit 98+ Gaskalibrierungen. Durchfluss- und Druckgeräte werden ihre angegebenen Durchflussbereiche und Genauigkeitsspezifikationen einhalten für jedes Gas unter Standardprozessbedingungen.
316L-Edelstahl und FFKM-Elastomere gewährleisten die Kompatibilität mit korrosiven Gasen und rauen Elementen.
Sie können die Gase vor Ort wechseln, ohne dass Ausfallzeiten oder eine Neukalibrierung erforderlich sind.
Entspricht den SEMI-Normen
Die MCE-Reihe und MCV-Reihe Massedurchflussregler sind so konzipiert, dass sie ältere Geräte ersetzen können. Um eine einfache Integration zu gewährleisten, sind die Geräte mit einer Vielzahl von digitalen und analogen Kommunikationsprotokolle einschließlich EtherCAT.
Produkte
CODA Coriolis-Massendurchflussregler
CODA Coriolis-Massedurchflussregler regeln präzise DI-Wasser oder unter hohem Druck stehende Gase.
Wasserstoff-Massendurchflussmesser
Wasserstoff-Massendurchflussmesser mit integriertem Zählwerk ermöglichen eine einfache Überwachung, bis zu 10.000 SLPM.
Massenflussregler für Wasserstoff
Massenflussregler für Wasserstoff Nachahmung des Brennstoffzellenverhaltens bei Durchflussraten im vollen Maßstab bis zu 10.000 SLPM mit schneller Reaktion und hoher Genauigkeit.
Druckregler mit zwei Ventilen
Zweiventilregler erreichen Sollwerte in Millisekunden und halten die Regelung aufrecht ohne kontinuierliche Blutung.
Produkte
CODA Coriolis-Massendurchflussregler genau kontrollieren DI-Wasser oder unter hohem Druck stehende Gase.
Wasserstoff-Massendurchflussmesser mit integrierten Zählwerken machen die Überwachung einfach, bis zu 12.000 SLPM.
Massenflussregler für Wasserstoff Nachahmung des Brennstoffzellenverhaltens bei Durchflussraten im vollen Maßstab bis zu 12.000 SLPM mit schneller Reaktion und hoher Genauigkeit.
Druckregler mit zwei Ventilen Erreichen der Sollwerte in Millisekunden und Aufrechterhaltung der Kontrolle ohne kontinuierliche Blutung.
Wichtigste Verwendungen in der Industrie
