Dünnschichtabscheidung
Optimierung der Dünnschichtabscheidung für hohen Durchsatz und Qualität
Die Erzeugung gleichmäßiger Beschichtungen hängt von einer schnellen und präzisen Gaszufuhr in Vakuumbeschichtungsanlagen ab. Dies ist für Dünnschichtverfahren von der Herstellung synthetischer Diamanten bis hin zu photovoltaischen Beschichtungsanwendungen von entscheidender Bedeutung.
Massendurchflussregler für subatmosphärische Strömungssysteme
Alicat® verfügt über eine Reihe von kundenspezifischen Lösungen, die speziell für die Aufrüstung bestehender Vakuumanlagen entwickelt wurden.
- Keine Aufwärmphase. Die Ablagerungszyklen können unmittelbar nach dem Einschalten der Durchflussgeräte beginnen.
- Reaktionszeit von einer Millisekunde. Die Durchfluss- und Druckregler reagieren sofort auf Änderungen der Prozessbedingungen, maximieren die Gleichmäßigkeit und minimieren den Abfall.
- Kompatibilität mit mehreren Gasen. Ein einziges Gerät kann alle für den Abscheidungsprozess benötigten Gase mit hoher Genauigkeit leiten.
Anwendungen und Anwendungsfälle
Techniken der Dünnschichtabscheidung
Untersuchen Sie zwei weit verbreitete Abscheidungskategorien, die chemische Abscheidung aus der Gasphase (CVD) und die physikalische Abscheidung aus der Gasphase (PVD), und stellen Sie deren Techniken und Anwendungen vor.
Erhöhung der Geschwindigkeit und Stabilität der Vakuumabscheidung mit vorgeschalteter Druckregelung
Die Platzierung von Druckregelungsvorrichtungen vor der Kammer bei Vakuumbeschichtungsanwendungen spart Zeit und Kosten und erhöht die Genauigkeit der Vakuumbeschichtungswerkzeuge.
Übergang von manuellen und mechanischen Kontrollen zu elektronischer Präzision und Automatisierung
Erforschen Sie die beiden gängigsten Methoden der physikalischen Gasphasenabscheidung, die zum Aufbringen von PVD-Beschichtungen verwendet werden: die thermische Verdampfung und die Sputtering-Beschichtung.
Dünnschichtabscheidung für Sie
Der kooperative Entwicklungsansatz und die robusten Fertigungskapazitäten von Alicat Scientific garantieren Ihnen hochwertige OEM-Ergebnisse. Wir verfügen über jahrzehntelange Erfahrung in der Entwicklung kundenspezifischer Lösungen.
- Maßgeschneiderte Ventilblöcke und spezielle Schnittstellenplatten sowie eine nahezu vollständige Liste von Kommunikationsoptionen machen unsere Geräte mit den meisten installierten Automatisierungsprozessen kompatibel.
- Kontinuierliche Unterstützung durch unser funktionsübergreifendes Team von Ingenieuren für jeden Schritt vom Prototyping bis zur Fertigung
- Ressourcen für die Zeit nach dem Verkauf, Reparaturen und Zubehör, die Ihnen bei der Wartung und Weiterentwicklung Ihres Produkts helfen
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