Massenfluss- und Druckregler für CVD-Diamantprozesse im Labor
- Kontrollieren Sie die Wachstumsraten, indem Sie ein präzises Gleichgewicht von Kohlenstoff, Wasserstoff und Sauerstoff herstellen. Reproduzieren Sie erfolgreiche Rezepte über Tausende von Chargen hinweg.
- Massedurchflussmesser und -regler werden geliefert mit Gas auswählen zwischen Methan, Argon, Sauerstoff (oder 95 anderen Gasen) umzuschalten, ohne dass die Genauigkeit leidet.
- Die für CVD-Prozesse konzipierten Druckregler sind mit einem schnell reagierenden Proportionalventil ausgestattet, das schnell anspricht, um den Druck in der Kammer stabil zu halten.
Anwendungen und Anwendungsfälle
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