El módulo de conexión de gas se beneficia del control de flujo de alta precisión del MCE de Alicat

Los  controladores de flujo másico  MCE de Alicat Scientific se han integrado en los productos de vacío MDC XpressStick ™ MFC Gas Stick.  Con un control de precisión de los flujos de gas de hasta 20SLPM y una pantalla integrada, los MCE de Alicat proporcionan funcionalidad de programación de gas al módulo de conexión de gas, que conecta las entradas de gas presurizado a las cámaras de vacío.

El Alicat MCE controla con precisión caudales de gas tan bajos como 0-0.5 sccm a escala completa o tan altos como 0-20 slpm a escala completa. Con tiempos de respuesta de control de 20 a 50 milisegundos para cambios en los puntos de ajuste, el MCE mejora los productos finales de recubrimiento al vacío y ayuda a eliminar el envenenamiento objetivo.

El diseño todo-en-uno de la barra de gas MFC de XpressStick elimina las complejas especificaciones de hardware en procesos que incluyen una combinación de gases especiales, presión, regulación precisa y vacío. Su fácil programación y su preciso sistema de control de gas permite a los usuarios pasar de la botella al proceso en un simple paso. Diseñado para cumplir con los requisitos de proceso de pureza ultra alta, el XpressStick también se ofrece en un modelo de acero inoxidable para ambientes corrosivos.

Con el tiempo de calentamiento cero del MCE, el XpressStick está listo para controlar los flujos de proceso en sólo un segundo, con datos de flujo másico, flujo volumétrico, presión absoluta y temperatura en tiempo real, totalmente compensados para temperatura y presión. El módulo de gas se programa directamente a través de la pantalla integrada del MCE, con fáciles cambios de tipo de gas utilizando las calibraciones de gas integradas.

“La rapidez de respuesta, la precisión y la fiabilidad fueron los criterios clave a la hora de elegir un instrumento MFC para nuestro XpressStick”, explicó el Vicepresidente de Ingeniería y Tecnología de MDC, James Moore. “Basándonos en la experiencia anterior con Alicat, sabíamos que podían suministrar los tres, con una pantalla integrada que permite nuestro diseño todo en uno”.

Los controladores de flujo másico, controladores de presión y controladores de vacío Alicat se utilizan en sistemas de recubrimiento al vacío alrededor del mundo.

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