MDC Precision verwendet Massendurchflussregelung für XpressStick-Gasfördermodul

Der XpressStick™ MFC-Gasstab MDC Präzision hat eine All-in-One-Lösung entwickelt, die komplexe Hardwarespezifikationen in einer Kombination aus Spezialgas, Druck, präziser Regulierung und Vakuumprozessen überflüssig macht. Dank der einfachen Programmierung und des präzisen Gassteuerungssystems kann der Benutzer in einem einfachen Schritt von der Flasche zum Prozess übergehen. Der XpressStick wurde für ultrahochreine Prozessanforderungen entwickelt und wird auch in einer Edelstahlversion für korrosive Umgebungen angeboten.

XpressStick™ MFC Gas Stick mit Vakuum-Massendurchflussregler

“Fast response time, accuracy, and reliability were all key criteria in choosing an MFC instrument for our XpressStick. Based on past experience with Alicat, we knew that they could deliver all three, with an integrated display that enables our all-in-one design.”

— MDC Vice President of Engineering & Technology, James Moore

MDC integriert Alicat Vakuum-Massendurchflussregler in ihren XpressStick™. Das Massendurchflussmessgerät steuert präzise Gasströme von bis zu 20 SLPM mit Echtzeitmessungen von Massendurchfluss, Volumendurchfluss, Absolutdruck und Temperatur. Es bietet außerdem Gasprogrammierfunktionen für das Gasanschlussmodul, das Druckgaseingänge mit Vakuumkammern verbindet. Über ein integriertes Display kann das Gasmodul direkt vom Gerät aus programmiert werden, und der Gastyp kann einfach zwischen 98 integrierten Gaskalibrierungen umgeschaltet werden.

Mit einer Regelungsreaktionszeit von 30 ms auf Sollwertänderungen verbessert dieses Gerät die Vakuumbeschichtungsendprodukte von MDC und trägt zur Vermeidung von Zielvergiftungen bei. Da es keine Aufwärmzeit gibt, ist der XpressStick in nur einer Sekunde bereit, Prozessabläufe zu steuern.

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