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Vakuum-Massendurchflussregler
Massendurchflussregler für subatmosphärische Durchflusssysteme
Die Vakuum-Massendurchflussregler sind so vorkonfiguriert, dass sie problemlos in Vakuumprozesse wie CVD, ALD, PVD und Beschichtung passen und funktionieren. Diese Geräte messen und regeln den Gasfluss von 0,5 SCCM bis zu 20 SLPM.
- Ultra-schnelle Reaktionszeit von nur 30 ms
- Bis zu 130 vorinstallierte Gaskalibrierungen - weniger Ersatzteile: Wechsel ohne Genauigkeitsverlust
- Weniger Einheiten verwenden: Bis zu 0,01 - 100% Mess- und Regelbereich (10.000:1 Turndown)
- Genauigkeit so gut wie ± 0,4% des Lesens und ± 0,2% des Skalenendwertes
- Laminare Differenzdruck (DP)-Massendurchflussmesstechnik
- Misst Massendurchfluss, Volumendurchfluss, Temperatur und Druck
- Eingeschränkte lebenslange Garantie
0,5 SCCM - 20 SLPM
11,5 - 160 PSIA
MCV Serie Controller
Vakuum-Massendurchflussregler
- 0,5 SCCM - 20 SLPM Optionen
- 0,01% - 100% vom Skalenendwert (10.000:1 Turndown-Verhältnis)
- Genauigkeit so gut wie ± 0,5% vom Messwert oder ± 0,1% vom Skalenendwert, je nachdem, welcher Wert größer ist
- 98 vorinstallierte wählbare Gaskalibrierungen
- Integriertes pneumatisches Ventil
- Dichtheit des Pneumatikventils: 1 x 10-9 atm-cc/sec Helium max
- Wiederholbarkeit so gut wie ± (0,1% vom Messwert + 0,02% vom Skalenendwert)
SFF Serie Controller
Regelgas bei Vakuumdruck mit SEMI-Formfaktor
SEMI-Standard-Fußabdruck
- 0,5 SCCM bis 20 SLPM Skalenendbereiche
- 0,01% - 100% vom Skalenendwert (10.000:1 Turndown-Verhältnis)
- Genauigkeit bis zu ± 0,5% vom Messwert oder ± 0,1% vom Skalenendwert, je nachdem, welcher Wert größer ist
- 98 vorinstallierte wählbare Gaskalibrierungen
- Betriebstemperatur -10°C bis +60°C
- Bearbeitete Fittings für weniger Dichtflächen
- Ersetzt die Controller der MCE-Serie
MCES Serie Controller
SEMI Formfaktor korrosionsbeständige Kontrolle von Gas im Vakuum
Korrosionsbeständiger SEMI-Fußabdruck
- 0,5 SCCM bis 20 SLPM Skalenendbereiche
- 0,01% - 100% vom Skalenendwert (10.000:1 Turndown-Verhältnis)
- Genauigkeit so gut wie ± (0,4% vom Messwert + 0,2% vom Skalenendwert)
- 128+ vorinstallierte wählbare Gaskalibrierungen
- Reproduzierbarkeit: ± 0,2% vom Skalenendwert
- Betriebstemperatur: -10°C bis +60°C
MCVS Serie Controller
Korrosionsbeständige Vakuum-Massendurchflussregler
Korrosionsbeständig mit Absperrventil
- 0,5 SCCM bis 20 SLPM Skalenendbereiche
- 1% - 100% des Skalenendwertes im eingeschwungenen Zustand
- Genauigkeit so gut wie ± 0,4% vom Messwert und ± 0,2% vom Endwert
- Kompatible Gase: 128+ vorinstallierte wählbare Gaskalibrierungen
- Dichtheit des Pneumatikventils: 1 x 10-9 atm-cc/sec Helium max
- ± 0,2% vom Skalenendwert Wiederholbarkeit
Optionen erstellen
RS-485 Seriell
Analog (4-20 mA, 0-10 Vdc, 0-5 Vdc, oder 1-5 Vdc)
Modbus RTU (über RS-232 oder RS-485)
Modbus TCP/IP
DeviceNet
EtherCAT
EtherNet/IP
PROFIBUS
PROFINET
IO-Link
Für explosionsgefährdete Umgebungen, siehe IS-Max-Reihe
Sind Sie bereit für die letzten Details?
Jedes Produkt wird auf Bestellung gefertigt. Die Anwendungsingenieure von Alicat sind bereit, ihr Fachwissen zur Verfügung zu stellen und kundenspezifische Optionen zu besprechen, um die beste Lösung für Ihre Bedürfnisse zu gewährleisten.
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