IS-Max™ Eigensichere Massedurchflussregler

• 98 Gaskalibrierungen vorinstalliert
• 0,5 SCCM - 250 SLPM
• 11,5 - 160 PSIA (Hochdruckoption bis 320 PSIA)
• Durchflussgenauigkeit so gut wie ± 0,5% des Lesens oder ± 0,1% des Skalenendwertes, je nachdem, welcher Wert größer ist
• Siehe Zertifikate unter

• 0,5 SCCM - 250 SLPM

Korrosionsbeständig

• 128 vorinstallierte Gaskalibrierungen, einschließlich ätzender Stoffe
• 0,5 SCCM - 250 SLPM
• 11,5 - 160 PSIA (Hochdruckoption bis 320 PSIA)
• Genauigkeit so gut wie ± 0,4% des Lesens und ± 0,2% des Skalenendwertes
• Siehe Zertifikate unter

• 0,5 SCCM - 250 SLPM

• Massendurchflussregler
• 98 Gaskalibrierungen vorinstalliert
• 0,5 SCCM - 50 SLPM
• 60 PSIA Betriebsdruck
• Genauigkeit bis zu ± 0,6% vom Messwert oder ± 0,1% vom Skalenendwert, je nachdem, welcher Wert größer ist
• 0,7 PSID minimaler Druckabfall
• Siehe Zertifikate unter

• 0,5 SCCM - 50 SLPM