Vakuum-Massendurchflussregler

• 0,5 SCCM - 20 SLPM Optionen
• 0,01% - 100% vom Skalenendwert (10.000:1 Turndown-Verhältnis)
• Genauigkeit bis zu ± 0,5% vom Messwert oder ± 0,1% vom Skalenendwert, je nachdem, welcher Wert größer ist
• 98 vorinstallierte wählbare Gaskalibrierungen
• Integriertes pneumatisches Ventil
• Dichtheit des Pneumatikventils: 1 x 10^-9 atm-cc/sec Helium max
• Wiederholbarkeit so gut wie ± (0,1% vom Messwert + 0,02% vom Skalenendwert)

• 0,5 - 5 SCCM
• 10 SCCM - 20 SLPM

SEMI-Standard-Fußabdruck

• 0,5 SCCM bis 20 SLPM Skalenendbereiche
• 0,01% - 100% vom Skalenendwert (10.000:1 Turndown-Verhältnis)
• Genauigkeit bis zu ± 0,5% vom Messwert oder ± 0,1% vom Skalenendwert, je nachdem, welcher Wert größer ist
• 98 vorinstallierte wählbare Gaskalibrierungen
• Betriebstemperatur -10°C bis +60°C
• Bearbeitete Fittings für weniger Dichtflächen
• Ersetzt die Controller der MCE-Serie

• 0,5 - 5 SCCM
• 10 SCCM - 20 SLPM

Korrosionsbeständiger SEMI-Fußabdruck

• 0,5 SCCM bis 20 SLPM Skalenendbereiche
• 0,01% - 100% vom Skalenendwert (10.000:1 Turndown-Verhältnis)
• Genauigkeit so gut wie ± (0,4% vom Messwert + 0,2% vom Skalenendwert)
• 128+ vorinstallierte wählbare Gaskalibrierungen
• Reproduzierbarkeit: ± 0,2% vom Skalenendwert
• Betriebstemperatur: -10°C bis +60°C

• 0,5 SCCM - 20 SLPM