Système externe de contrôle du vide des manomètres ioniques

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Note d’application: Système externe de contrôle du vide des manomètres ioniques

Les projets de recherche impliquant des chambres isolées avec des composants organiques en décomposition utilisent souvent des rotamètres. Le système externe de contrôle du vide des manomètres ioniques utilise une configuration spéciale offerte par le régulateur de pression à mono-vanne d’ALICAT. Le régulateur de vide à jauge ionique externe d’ALICAT a été conçu spécifiquement pour répondre aux exigences de l’industrie du revêtement sous vide.

Cette innovation déclasse les capteurs de pression de basse gamme et permet d’assurer un contrôle idéal des conditions de vide extrêmes présentes dans une chambre de revêtement.

Le régulateur est doté d’un contrôle accéléré des données collectées par un capteur de vide à jauge ionique avec une sortie linéaire de l’ordre de 0-10 volts de pression. Le régulateur traduit le signal et permet d’assurer une régulation précise des pressions extrêmement sensibles du domaine de l’ultravide rencontrées dans la chambre de traitement.

Dans cette application, le signal de 0-10V est corrélé à 0-0,5 Torr. Le régulateur utilise le signal de pression de la jauge ionique pour contrôler avec précision les conditions de vide extrêmes présentes dans la chambre de revêtement.

Le débitmètre massique se trouvant en amont du régulateur de pression n’est alors pas affecté par les conditions induites par le vide et permet d’obtenir dans les meilleures conditions des mesures débit massique, de débit volumétrique ainsi que de connaître la masse totale de gaz présent dans la chambre.

Les valeurs de consigne peuvent être transmises localement au régulateur via un signal analogique ou grâce à la connexion de série RS-232.

Veuillez contacter l’un de nos ingénieurs commerciaux afin que l’on puisse en savoir plus sur votre application du système externe de jauge ionique.

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