Distribution de fluide optimisé grâce au contrôle de la pression

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Note d’application: Distribution de fluide optimisé grâce au contrôle de la pression

Pour cette application, on recherche un contrôle précis de la distribution d’un fluide, pour cela il faut assurer un contrôle de la pression de refoulement sur une chambre à liquide notamment grâce un régulateur de pression ALICAT à double vanne.

Typiquement, l’azote est utilisé comme gaz de traitement et est évacué dans l’atmosphère à travers la vanne se trouvent en aval de l’appareil de série PCD. La pression appliquée au liquide permet d’assurer alors une distribution de précision grâce à l’activation d’une électrovanne ou d’un robinet d’isolement. Il est possible d’atteindre une stabilité aussi élevée que 1/5000 (0,02% de la plage complète).

Grâce à l’option «RAM only» d’ALICAT, les utilisateurs peuvent augmenter continuellement et de manière homogène la pression dans la chambre à mesure que le niveau de liquide diminue. Grâce à ses temps de traitement rapides sur la plage, de l’ordre de 400 microsecondes, il est alors possible de réguler des changements de pression de manière très précise. Ce processus est souvent utilisé dans les systèmes de polissage de plaquettes de silicium notamment pour l’industrie des semi-conducteurs ainsi que dans certaines applications biotechnologiques.

Distribution de fluide optimisé grâce au contrôle de la pression

Distribution de fluide optimisé grâce au contrôle de la pression

 

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