Contrôle du débit de pulvérisation cathodique

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Note d’application: Contrôle du débit de pulvérisation cathodique

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Au cours du processus de pulvérisation cathodique, un gaz plasmagène (typiquement de l’argon) est utilisé pour remplir une chambre à vide composé d’un treillis cible et d’un substrat. La quantité de gaz plasmagène dans la chambre est critique pour contrôler le nombre d’atomes libérés du treillis cible. Dans la pulvérisation cathodique réactive, des gaz réactifs comme l’oxygène et l’azote sont introduits dans la chambre (habituellement pour former les revêtements (films) des substrats avec des atomes composés comme l’oxyde de titane).

Il est donc primordiale de maintenir les pressions partielles appropriées des gaz réactifs introduits à l’intérieur de la chambre pour empêcher l’empoisonnement de la cible. Cette application requiert une vitesse de temps de réponse rapide ainsi qu’une régulation fine du débit. Pour des réseaux cathodiques plus longs et des applications de pulvérisation cathodique utilisant de multiples sources de gaz, il est possible de commander plusieurs régulateurs de débit massique à partir d’une connexion de série ou par une entrée/sortie analogique.

Contrôle du débit de pulvérisation

Contrôle du débit de pulvérisation

Avantages offerts par ALICAT

  • Nos appareils ne sont pas sensibles aux changements de températures de processus et ambiantes et fluctuations de pressions.
  • Les vannes positionnées en aval offrent une compatibilité totale avec les chambres de traitement à ultravide.
  • La vitesse de temps de contrôle de l’ordre de 25-100 millisecondes.
  • La possibilité de régler le PID directement sur le terrain et selon les spécificités de votre application.
  • Les contrôles de boucle sélectionnables vous permettent de contrôler le débit massique, le débit volumétrique ou la pression absolue depuis un seul et même appareil, tout en mesurant simultanément le débit massique, la température, le débit volumétrique et la pression absolue.
  • Les communications de type RS-232 multipoints permettent la transmission et le contrôle de la valeur de consigne vers et depuis 26 appareils ALICAT fonctionnant simultanément à partir d’un seul port de série.
  • La possibilité de sélectionner parmi plus de 30 gaz et mélanges gazeux les plus courants depuis l’interface de sélection Gas Select™
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