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Vocabulaire Alicat : MCV pour dépôt sous vide

MCV : Régulateur de débit massique pour videAlicat MCV vacuum

Les régulateurs de débit massique de série MCV d’Alicat sont conçus spécialement pour les applications qui ont une forte pression sous vide en aval du régulateur de débit massique, comme le dépôt sous vide. Les MCV combinent une vanne proportionnelle de contrôle interne en aval au sein du corps d’écoulement du régulateur avec une deuxième vanne à fermeture pneumatique connectée au côté aval du corps d’écoulement. Cette seconde vanne permet une étanchéité de 1 x 10e-9 atm ccn par seconde (He), ce qui est vital pour les applications de dépôt ou pulvérisation sous vide, entre autres. Les MCV d’Alicat sont disponibles en plage de pleine échelle jusqu’à 20 LNPM.

Cliquez ici pour en savoir plus sur les régulateurs de débit massique pour applications sous vide de série MCV d’Alicat.

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