Débit

modèle

Régulateurs de débit massique de gaz à vide de série MCE et MCV

Mise à niveau facile pour les régulateurs de débits thermiques vieillissants

Mettez à jour vos appareils de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE ou MCV à la pointe de la technologie. Le modèle MCE vous permet de bénéficier de la même vitesse de temps de réponse que notre régulateur de débit massique standard. Cette série présente des raccords VCR ¼ » soudés et s’accorde bout à bout avec les régulateurs de débit massique aux standards SEMI.

Le MCV associe le MCE à une vanne d’arrêt pneumatique intégrée pour les applications de vide intensives. Il vous suffira de raccorder une conduite d’air à la vanne d’arrêt pour éviter toute contamination pendant les conditions de consignes à zéro.

  • Polyvalence: Contrôlez la pression tout en surveillant les débits, et sélectionnez à la volée un autre étalonnage de gaz ou encore définissez votre propre composition de gaz grâce à notre logiciel COMPOSER™.
  • Connexion: Bénéficiez d’une intégration facilitée à votre réseau industriel grâce aux diverses options de communication disponibles: Ethernet / IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU et TCP / IP) ou encore les options de communication en série.
  • Durabilité:  Les régulateurs de débit de la série MCE et MCV peuvent temporairement faire l’objet d’écoulements de liquides sans courir le risque d’être détruits.

Performance

  • Fourchettes disponibles: max 0-20 Nlpm, min 0-0,5 sccm / 0-500 Nμlm (voir l’onglet « Numéros de référence » pour plus d’informations sur les gammes du stock)
  • Rendement : 200:1 (MCE/MCV) ou 100:1 (MCES/MCVS)
  • Étalonnage de précision standard, homologué par le NIST (National Institute of Standards and Technologies) : +/- (0,8% du relevé + 0,2% de la plage de mesure utile)
  • Calibration de haute précision optionnelle, homologuée par le NIST: +/- (0,4% de la lecture + 0,2% de la plage de mesure utile)
  • Reproductibilité: 0,2% de la plage de mesure utile
  • Constante de temps de réponse de contrôle typique: 50-100 ms (aussi bas que 25 ms avec réglage PID)
  • Vanne d’étanchéité à vanne pneumatique (MCV seulement): 1 x 10-9  atm scc/sec Helium max
  • Aucun temps de chauffe requis

Conditions de fonctionnement

  • Gaz compatibles: 98 (MCE/MCV) ou 130 (MCES/MCVS) étalonnages de gaz sélectionnables préchargés; possibilité de définir des mélanges supplémentaires avec le logiciel COMPOSER
  • Température de fonctionnement:  de -10°C jusqu’à +60°C
  • Pression interne maximale (statique): 145 psi (160 psi)
  • Pression d’épreuve: 175 psi (190 psi)
  • STP/NTP: au choix de l’utilisateur (par défaut à 25°C et 1 atm STP / 0°C et 1 atm NTP)

À l’intérieur du kit

Variations de modèles

  • Vanne fermée avec longueur de port aux standards SEMI (MCE)
  • Vanne fermée avec une vanne d’arrêt pneumatique additionnelle pour applications sous vide (MCV)
  • Gaz agressifs (MCS, voir ci-dessous)

Également disponible:

  • Configuration standard avec vanne externe (MC)

Options de vanne

Votre régulateur de débit massique peut être personnalisé avec l’une des options de vannes suivantes pour garantir des performances optimales dans les conditions de processus que vous recherchez.

  • MCE – petite vanne de régulation proportionnelle montée à l’intérieur
  • MCV – petite vanne de régulation proportionnelle montée à l’intérieur, plus une vanne d’arrêt pneumatique montée à l’extérieur et située en aval

Gaz corrosifs (série MCES et MCVS)

Les appareils de la série standard MCE et MCV sont également disponibles avec une configuration optionnelle dite « S » (MCES et MCVS) pour une utilisation avec des gaz corrosifs.  Sous cette configuration, nous dotons la vanne d’un acier inoxydable 303, le capteur d’un acier inoxydable 316L et les élastomères sont réalisés en perfluoroélastomères (FFKM).

Options de construction

  • Protocoles de communication (analogiques, RS-232, RS-485, DeviceNet, EtherCAT, Ethernet / IP, Modbus RTU ou TCP / IP, PROFIBUS)
  • Affichages (monochrome ou couleur, intégré ou monté sur panneau)
  • Connexions de process (NPT, SAE, AN, BSPP / G, compression soudée ou raccords VCR / VCO)
  • Élastomères (Viton, FFKM, EPDM, Silicone)

Options de performance

La série MCE d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif  pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz non corrosifs.

MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
MCE-20SCCM-D
MCE-50SCCM-D
MCE-100SCCM-D
MCE-200SCCM-D
MCE-500SCCM-D
MCE-1SLPM-D
MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D

La série MCES d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif  pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz corrosifs.

MCES-0.5SCCM-D
MCES-1SCCM-D
MCES-2SCCM-D
MCES-5SCCM-D
MCES-10SCCM-D
MCES-20SCCM-D
MCES-50SCCM-D
MCES-100SCCM-D
MCES-200SCCM-D
MCES-500SCCM-D
MCES-1SLPM-D
MCES-2SLPM-D
MCES-5SLPM-D
MCES-10SLPM-D
MCES-20SLPM-D

La série MCV d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif  pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz corrosifs. Le MCV intègre également une vanne d’arrêt pneumatique située en aval.

MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D

La série MCVS d’ALICAT est conçue avec de petites vannes proportionnelles montées à l’intérieur même du dispositif  pour assurer le contrôle des débits faibles, et elle convient à une utilisation avec des gaz corrosifs. Le MCV intègre également une vanne d’arrêt pneumatique située en aval.

MCVS-0.5SCCM-D
MCVS-1SCCM-D
MCVS-2SCCM-D
MCVS-5SCCM-D
MCVS-10SCCM-D
MCVS-20SCCM-D
MCVS-50SCCM-D
MCVS-100SCCM-D
MCVS-200SCCM-D
MCVS-500SCCM-D
MCVS-1SLPM-D
MCVS-2SLPM-D
MCVS-5SLPM-D
MCVS-10SLPM-D
MCVS-20SLPM-D

La régulation de débit de gaz pour pulvérisation cathodique réactive

Régulez avec précision les pressions partielles des gaz réactifs dans la chambre à vide avec des temps de réponses de contrôle de l’ordre de 50-ms afin de prévenir tout risque de contamination de la cible. La résolution fine assure la libération correcte des atomes. Enfin maintenez une fermeture étanche dans des conditions sans débit avec la vanne pneumatique.

La mise à niveau de vos anciens régulateurs de débit massique thermique permet à ALICAT de faciliter l’intégration du revêtement sous vide.

 

    Questions about this product?

    Yes, I consent to receive Alicat Scientific Inc. communications, updates and the latest news.

    I understand that I may proactively manage my preferences, or opt-out of Alicat Scientific Inc. communications at any time using the unsubscribe link provided in any Alicat Scientific Inc. email communication. I confirm that I am over the age of 16. The information that you provide will be used in accordance with our Terms of Use and Privacy Policy.


    WordPress Video Lightbox Plugin