- Débitmètres Massiques et Régulateurs
- Modèle MCE : Régulateurs de débit massique de gaz aux standards SEMI
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Modèle MCE : Régulateurs de débit massique de gaz aux standards SEMI
Les régulateurs de débit massique de gaz sous vide modèle MCE sont équipés de raccords VCR 1/4″ et correspondent bout à bout aux MFC standard SEMI, pour des mises à niveau faciles à intégrer dans les appareils de dépôt sous vide. Contrôlez le débit massique ou la pression de plus de 98 gaz.
- Remplacement facile. Le régulateur de débit massique comprend des raccords VCR 1/4″ soudés et correspond à la longueur bout à bout de 124 mm des MFC standard SEMI.
- Polyvalent et précis. Contrôle en temps réel avec une précision traçable par le NIST de ±0,5 % de la lecture ou ±0,1 % de la pleine échelle pour plus de 98 gaz et 20 mélanges personnalisés.
- Contrôle rapide, données multivariables. Temps de réponse de quelques millisecondes dès la mise sous tension, pour contrôler le débit massique, le débit volumétrique ou la pression et afficher les relevés instantanés de débit, de pression et de température, dans les unités techniques de votre choix.
- Intégration facile. Des orifices procédé et des connecteurs électriques personnalisés, et votre choix de communications EtherNet/IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU et TCP/IP) ou modèle pour une intégration facile dans votre processus industriel.
Spécifications de l’appareil et options de personnalisation
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