Débitmètres Massiques et Régulateurs

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Modèle MCE : Régulateurs de débit massique de gaz aux standards SEMI

Les régulateurs de débit massique de gaz sous vide modèle MCE sont équipés de raccords VCR 1/4″ et correspondent bout à bout aux MFC standard SEMI, pour des mises à niveau faciles à intégrer dans les appareils de dépôt sous vide. Contrôlez le débit massique ou la pression de plus de 98 gaz.
  • Remplacement facile. Le régulateur de débit massique comprend des raccords VCR 1/4″ soudés et correspond à la longueur bout à bout de 124 mm des MFC standard SEMI.
  • Polyvalent et précis. Contrôle en temps réel avec une précision traçable par le NIST de ±0,5 % de la lecture ou ±0,1 % de la pleine échelle pour plus de 98 gaz et 20 mélanges personnalisés.
  • Contrôle rapide, données multivariables. Temps de réponse de quelques millisecondes dès la mise sous tension, pour contrôler le débit massique, le débit volumétrique ou la pression et afficher les relevés instantanés de débit, de pression et de température, dans les unités techniques de votre choix.
  • Intégration facile. Des orifices procédé et des connecteurs électriques personnalisés, et votre choix de communications EtherNet/IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU et TCP/IP) ou modèle pour une intégration facile dans votre processus industriel.

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Accessoires inclus à l'achat

Spécifications de l’appareil et options de personnalisation

Spécifications rapides
Performances modèle MCE (la plupart des produits)
  • Plages de pleine échelle disponibles : 0,5 SCCM à 20 SLPM
  • Plage de contrôle en régime permanent : 0,01% – 100% de la pleine échelle
  • Étalonnage de précision standard, traçable NIST : ±0,6 % de la lecture ou ±0,1 % de la pleine échelle, selon la valeur la plus élevée.
  • Étalonnage haute précision en option, traçable NIST : ±0,5 % de la lecture ou ±0,1 % de la pleine échelle, la valeur la plus élevée étant
  • Répétabilité :±(0,1% de la lecture + 0,02% de la pleine échelle)
  • Temps de réponse typique de la commande : aussi rapide que 30 ms
  • Temps de préchauffage : <1 s
Conditions d’utilisation modèle MCE
  • Gaz compatibles :Plus de 98 calibrations de gaz sélectionnables préchargées, y compris des mélanges de gaz personnalisés
  • Température de fonctionnement : -10°C à +60°C
  • Pression de fonctionnement à pleine échelle : 11 barA
  • Pression différentielle maximale : 5.2 barD
  • Pression d’épreuve : 12 barA
  • Conditions de référence sélectionnables par l’utilisateur (par défaut) : 25°C & 1 ATM (STP) et 0°C & 1 ATM (NTP)
Gammes d'appareils et spécifications complètes

Les dispositifs sont personnalisés de 0,5 SCCM à 20 SLPM à pleine échelle avec des plages contrôlables de 0,01% à 100% de la pleine échelle.

Pour un guide complet de l’appareil, lisez le manuel d’utilisation du contrôleur de débit massique.

Caractéristiques du dispositif
Inclus avec chaque appareil

Mesures de processus multi-variables : Mesure simultanée du débit massique, du débit volumétrique, de la pression et de la température du gaz.
Unités de mesure modifiables par l’utilisateur : Changez l’unité de mesure de la pression, du débit ou de la température à partir de notre liste exhaustive d’unités techniques.
Sélection de gaz : Sélectionnez votre gaz de procédé parmi les 98+ étalonnages de gaz préchargés et traçables NIST de notre liste de gaz.
Gas Select COMPOSER™ : Définissez 20 mélanges gazeux personnalisés comprenant jusqu’à 5 gaz constitutifs à l’aide de notre micrologiciel Gas Select Composer™.
Écran LCD rétroéclairé monochrome avec pavé tactile intégré : Lisez facilement les mesures à l’aide de l’écran rétroéclairé et contrôlez les configurations avec le pavé tactile intégré convivial.
Rampe et limites du point de consigne réglables par l’utilisateur : Les taux de rampe configurables permettent de contrôler la variable de processus aussi rapidement ou aussi lentement que souhaité, et les limites de point de consigne configurables protègent les processus contre les changements de point de consigne par inadvertance.
Conditions de température et de pression standard (STP) réglables par l’utilisateur : Changez rapidement les conditions de référence sans avoir à recalibrer l’appareil.
Commande prioritaire de fermeture de la vanne et commande prioritaire d’ouverture de la vanne : Utilisez les alarmes pour purger rapidement votre système ou arrêter tout débit si nécessaire.

Demande au moment de l’achat | Gratuit
  • Totalisateurs et contrôle des lots intégrés en option : Totaliser le débit massique toutes les 1 ms pour un suivi précis du débit total dans le temps et utiliser le contrôle par lot pour distribuer des volumes précis.
Demande au moment de l’achat | Coût supplémentaire
  • Commande par potentiomètre intégré en option : Utilisez le potentiomètre intégré pour régler les points de consigne d’un simple tour de
Options de construction et de performance
  • Protocoles de communication : Analogique, RS-232, RS-485, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Modbus RTU ou TCP/IP, PROFIBUS
  • Écrans : Monochrome ou couleur, rétroéclairé, intégré ou sur panneau.
  • Raccords process : à compression, VCR ou VCO
  • Matériaux immergés : Acier inoxydable 302, 303, 304, 316L et 430FR ; FKM, céramique d’alumine, laiton, verre, or, époxy thermodurci, caoutchouc de silicone thermodurci, polyamide, silicone.
  • Elastomères : Viton, FFKM, EPDM, Silicone
  • Calibrage : Haute précision ; points d’étalonnage personnalisés
Accessoires en option
Accessoires : vendus séparément
  • Raccords et filtres des ports de traitement
  • Alimentation électrique
  • Câbles de communication et câbles de conversion
  • Boîtes de dérivation multi-points BB3 et BB9

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