Le module de raccordement au gaz tire parti de la haute précision de contrôle du dispositif MCE d’Alicat

Les régulateurs de débit massique  MCE d’Alicat Scientific ont été intégrés aux XpressStick™ MDC Gas Stick de MDC Vacuum Products. Avec une précision de régulation du gaz allant jusqu’à 200 SLPM et un affichage incorporé, les dispositifs MCE d’Alicat fournissent une fonctionnalité de programmation du gaz au module de raccordement au gaz qui relie les entrées de gaz pressurisé aux chambres sous vide.

Le dispositif MCD d’Alicat régule avec précision les taux de débit du gaz à une valeur aussi basse que 0-0,5 sccm à pleine échelle ou aussi haute que 0-20 slpm à pleine échelle. Avec des temps de réponse de 20 à 50 millisecondes par rapport au point de consigne déterminé, le MCE améliore le revêtement sous vide de produits finis et aide à éliminer la contamination de la cible [target poisoning, en anglais].

Le système intégral de la tige de gaz MFC XpressStick élimine les spécifications complexes de matériel dans les processus qui comprennent une combinaison de gaz spécialisés, de pression, de régulation précise et de vide. Grâce à sa facilité de programmation et au système précis de contrôle du gaz, les utilisateurs peuvent passer d’une bonbonne à un processus en une simple étape. Conçu pour satisfaire aux exigences d’extrême pureté, le XpressStick peut également être proposé en acier inoxydable pour les environnements corrosifs.

Avec son temps de chauffe nul, le XpressStick MCE est prêt à contrôler les débits du processus en juste une seule seconde, avec débit massique en temps réel, débit volumétrique, données de pression absolue et de température, entièrement compensés en fonction de la température et la pression. Le module du gaz se programme directement avec l’affichage intégré du MCE, avec une facilité de modification du type de gaz grâce aux calibrages de gaz intégrés.

« Temps de réponse rapide, précision et fiabilité ont tous été des critères clé dans le choix d’un instrument MFC pour notre XpressStick » a souligné le Vice-président MDC chargé de l’Ingénierie & Technologie, James Moore. « Sur la base de notre expérience passée avec Alicat, nous étions convaincus qu’ils arriveraient à nous fournir ces trois éléments, avec affichage intégré, qui permet notre design tout-en-un.

Les régulateurs de débit massique, de pression et de vide Alicat sont utilisés pour le revêtement sous vide dans le monde entier.

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