La plupart des instruments de dépôt sous vide traditionnels utilisent un contrôle de pression aval pour maintenir la pression des gaz dans la chambre à vide. La vanne papillon peut valoir des milliers de dollars. Un module de contrôle séparé est souvent nécessaire pour alimenter cette vanne, fournir des données de régulateur PID et assurer les fonctionnalités de fixation de la valeur de consigne. La configuration du papillon des gaz (vanne papillon) peut également causer des retards lors de la permutation des gaz ou en attendant que le gaz dans la chambre se stabilise.

L’avantage de fixer un appareil de contrôle en amont de la chambre est d’atteindre une plus grande vitesse des temps de réponse ainsi qu’une meilleure stabilité notamment grâce à l’utilisation d’une vanne de régulation proportionnelle à action rapide. La méthode en amont permet également de se passer de vannes supplémentaires, de réduire les besoins en équipement et d’économiser les coûts en investissement que ce genre d’application requiert. Les appareils ALICAT offrent cette alternative.

L’ALICAT PC-EXTSEN

Régulateur de pression série ALICAT PC-EXTSEN avec connecteur de capteur externe

Pour les projets à plus grande échelle ou d’équipementiers, le régulateur de pression ALICAT PC-EXTSEN (à capteur externe) est capable de contrôler les degrés de vide lorsqu’il est monté en amont de la chambre. Cette série est spécialement conçue pour être utilisée lorsque la pression du processus se situe entre des degrés de vide élevé et l’ultravide et a recours pour cela à une sonde manométrique. Le PC-EXTSEN reçoit un signal analogique du capteur et permet d’assurer un contrôle en boucle fermée à l’aide d’une vanne proportionnelle.

En ajoutant un capteur de pression externe, il est possible de maintenir la pression de la chambre avec plus de précision tout en laissant la possibilité à l’utilisateur de modifier ou d’ajuster les gaz utilisés sans avoir à se préoccuper du système de dépôt sous vide dans son ensemble. Ceci permet une application plus rapide des gaz neutres, un contrôle plus efficace et d’assurer des niveaux de pression constants dans l’environnement de revêtement sous vide.

Le régulateur de pression PC-EXTSEN fournit de l’énergie à la sonde manométrique et a l’avantage d’être compatible avec toutes les technologies de manomètre, notamment les sondes à ionisation, jauges de Pirani et jauges à cathode froide mais également les jauges active, passives et les jauges à combinaison.

Les régulateurs de vide intégrés ALICAT (IVC)

Régulateur de pression ALICAT PC-IVC avec capteur intégré

Pour les petites expériences et les projets ne faisant pas intervenir de sonde manométrique, le régulateur ALICAT de modèle IVC a la solution. Tout comme le PC-EXTSEN, il permet de s’affranchir de l’encombrement et complications qu’entraînent l’utilisation de tout un équipement associé à ce genre d’application ainsi que de réduire drastiquement les coûts associés à la méthode traditionnelle de contrôle de la pression via les vannes papillons. Le régulateur IVC comprend un capteur de vide intégré directement dans l’appareil, permettant de contrôler la pression dans une chambre à vide dès sa mise en service. Ces capteurs sont capables d’une très haute précision pour de plages aussi basses que 10 millitorrs. L’IVC comprend également un régulateur PID intégré à l’appareil ainsi qu’un capteur à isolation pneumatique; pour une précision supérieure aux solutions alternatives sur le marché, et permet une mesure précise d’à la fois la chambre sous vide et du gaz de manière indépendante.

Compter sur des dispositifs de contrôle de pression en amont de la chambre pour des applications de revêtement sous vide permet de cumuler de nombreux avantages : économie de temps, réduction des coûts d’investissement, et optimisation de la précision des instruments de dépôt sous vide.

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