Dispensación de fluidos usando el control de presión

Nota de App: Dispensación de fluidos usando el control de presión

En esta aplicación, el control preciso del suministro de un fluido se logra mediante el control de la presión del cabezal en una cámara de líquido utilizando un controlador de presión de válvula doble Alicat.

Típicamente, el nitrógeno se utiliza como gas de proceso y se ventila a la atmósfera a través de la válvula aguas abajo del PCD. La presión aplicada al líquido permite una precisión de dispensación a través de la activación de un solenoide o válvula de aguja. Se puede alcanzar una estabilidad de hasta 1 parte en 5000 (. 02% de FS).

Con la opción “solo RAM” de Alicat, los usuarios pueden aumentar continuamente la presión del cabezal en la cámara a medida que disminuye el nivel de fluido. Con tiempos de procesamiento en el rango de 400 microsegundos, se pueden aplicar cambios de presión muy precisos. Este proceso se utiliza a menudo en sistemas de pulido de obleas de silicio para la industria de semiconductores, así como en algunas aplicaciones biotecnológicas.

Dispensación de fluidos usando el control de presión