Sistema de control de vacío de medidor de iones externo

Nota de App: Sistema de control de vacío de medidor de iones externo

Los proyectos de investigación que implican cámaras aisladas con la descomposición de componentes orgánicos a menudo utilizan rotómetros. El sistema de control de vacío del medidor de iones externo utiliza una configuración especial de la única válvula de presión del controlador Alicat. El controlador de vacío del medidor de iones externo de Alicat fue diseñado específicamente para la industria de recubrimiento por vacío.

Esta innovación sortea la gama baja de nuestros sensores de presión y permite el control de condiciones de vacío extremas en la cámara de recubrimiento.

El controlador proporciona un control rápido basado en los datos proporcionados por un sensor de vacío del medidor de iones con una salida de presión lineal de 0-10 voltios. El controlador traduce la señal y controla con precisión las presiones extremas de vacío dentro de la cámara de proceso.

En esta aplicación, la señal 0-10V se correlaciona con 0-0.5 Torr. El controlador utiliza la señal de presión del medidor de iones para controlar con precisión las condiciones extremas de vacío en la cámara de recubrimiento.

El medidor de flujo másico aguas arriba del controlador de presión no se ve afectado por las condiciones de vacío y mide el flujo másico preciso, flujo volumétrico y la masa totalizada de gas en la cámara.

Los puntos de ajuste se pueden entregar al controlador localmente con una señal analógica o mediante la conexión serial RS-232.Por favor, póngase en contacto con un ingeniero de ventas para discutir su aplicación del sistema medidor de iones externo.