Flujo

modelo

Controladores de flujo másico para gas MCE y MCV en vacío

Actualización sencilla para controladores de flujo térmico obsolescentes

Actualice sus dispositivos de deposición al vacío con un Alicat MCE o MCV de última generación. El MCE presenta la misma respuesta de control rápido de nuestro controlador de flujo másico estándar en un diseño que incluye accesorios soldados de 1/4″ VCR y coincide de punta a punta con el estándar SEMI del MFC.

El MCV combina el MCE con una válvula de cierre neumática integrada para aplicaciones de vacío duro. Conecte una línea de aire a la válvula de cierre para evitar la contaminación durante las condiciones de valor nominal cero.

  • Versátiles. Controle la presión mientras controla las tasas de flujo, seleccione otra calibración de gas sobre la marcha o defina su propia composición de gas con COMPOSER ™.
  • Conectados. De fácil integración en su red industrial digital con Ethernet / IP, EtherCAT, DeviceNet, Profibus, Modbus (RTU y TCP / IP) o las opciones de comunicaciones en serie.
  • Duraderos. Las series MCE y MCVs de controladores de flujo pueden fluir líquidos temporalmente sin que se destruyan.

Desempeño

  • Rangos disponibles: máximo 0-20 slpm, mínimo 0-0.5 sccm (ver la pestaña Números de parte para consultar la gama de existencia)
  • Relación entre flujo máximo y flujo mínimo: 200:1 (MCE/MCV) o 100:1 (MCES/MCVS)
  • Precisión de calibración estándar, rastreable por NIST: +/- (0.8% de la lectura + 0.2% del rango de escala completa)
  • Calibración de alta precisión opcional, rastreable por NIST: +/- (0.4% de la lectura + 0.2% del rango de escala completa)
  • Repetibilidad: 0.2% del rango de escala completa
  • Constante de tiempo de respuesta de control típica: 50-100 ms (hasta 25 ms con ajuste PID)
  • Integridad de fuga de la válvula neumática (solamente MCV): 1 x 10-9 atm scc / sec Helium máx.
  • No requiere tiempo de calentamiento

Condiciones de funcionamiento

  • Gases compatibles: 98 (MCE / MCV) o 130 (MCES / MCVS) calibraciones de gas precargadas, seleccionables; mezclas adicionales definibles con COMPOSER
  • Temperatura de funcionamiento: -10 ° C a + 60 ° C
  • Presión interna máxima (estática): 145 psig (160 psia)
  • Presión de prueba: 175 psig (190 psia)
  • TPE / TPN: seleccionable por el usuario (predeterminado a 25 ° C y 1 atm STP / 0 ° C y 1 atm TPN)

Incluido con su MCE o MCV:

Variaciones del modelo

  • Válvula incluida con longitud de puerto SEMI (MCE)
  • Válvula incluida con válvula de cierre neumático adicional para aplicaciones de vacío (MCV)
  • Gases agresivos (MCS, ver a continuación)

También disponible:

  • Configuración estándar con válvula montada externamente (MC)

Opciones de válvula

Su controlador de flujo másico se puede personalizar con una de las siguientes opciones de válvulas para garantizar un rendimiento óptimo en las condiciones esperadas de su proceso.

  • MCE- válvula de control proporcional pequeña montada internamente
  • MCV- válvula de control proporcional pequeña montada internamente, más una válvula de cierre neumática montada externamente ubicada aguas abajo

Gases corrosivos (series MCES y MCVS)

Los instrumentos en las series estándar MCE y MCV también están disponibles con una configuración «S» opcional (MCES y MCVS) para usar con gases corrosivos. En esta configuración, mejoramos la válvula al acero inoxidable 303, el sensor al acero inoxidable 316L y los elastómeros a FFKM.

Opciones de construcción

  • Protocolos de comunicaciones (analógica, RS-232, RS-485, DeviceNet, EtherCAT, Ethernet / IP, Modbus RTU o TCP / IP, PROFIBUS)
  • Pantallas (monocroma o a color, integrada o montada en panel)
  • Conexiones de proceso (NPT, SAE, AN, BSPP / G, compresión soldada o conexiones VCR / VCO)
  • Elastómeros (Viton, FFKM, EPDM, Silicona)

Opciones de desempeño

  • Totalizador de flujo
  • Control de potenciómetro integrado
  • Calibración de alta precisión o adaptada

La serie MCE de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas montadas internamente para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para usar con gases no corrosivos.

MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
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MCE-2SLPM-D
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MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D

La serie MCES de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas montadas internamente para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para usar con gases corrosivos.

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MCES-5SLPM-D
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La serie MCV de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas montadas internamente para controlar a tasas de flujo más bajas y es adecuada para usar con gases no corrosivos. La MCV también incorpora una válvula de cierre neumática ubicada aguas abajo.

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MCV-1SCCM-D
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MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D

La serie MCVS de Alicat utiliza válvulas proporcionales pequeñas montadas internamente para el control a tasas de flujo más bajas y es adecuada para el uso con gases corrosivos. La MCVS también incorpora una válvula de cierre neumática ubicada aguas abajo.

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Control de flujo de gas para pulverización reactiva

Controle con precisión las presiones parciales de los gases reactivos en la cámara de vacío con una respuesta de control rápida de 50 ms para evitar la contaminación del objeto. La resolución fina asegura la liberación apropiada de átomos. Mantenga un cierre hermético en condiciones de ausencia de flujo con la válvula neumática.

La actualización de sus antiguos controladores térmicos de flujo másico es solo una de las formas en que Alicat facilita el recubrimiento por vacío.

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