MCV: Controlador de flujo de masa para vacío

La serie MCV de controladores de flujo másico de Alicat está diseñada específicamente para aplicaciones que tienen una fuerte presión de vacío aguas abajo del controlador de flujo másico, como la deposición al vacío. El MCV une una válvula de control proporcional corriente abajo interna dentro del cuerpo de flujo del controlador con una segunda válvula de cierre positiva neumática conectada al lado corriente abajo del cuerpo de flujo. Esta segunda válvula permite un cierre muy apretado de 1 x 10e-9 atm scc por segundo (He), que es fundamental para aplicaciones de recubrimiento por vacío o pulverización catódica, entre otros. Alicat MCV está disponible en rangos de escala completa de hasta 20 SLPM.

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