Externes Ionenmessgerät Vakuumkontrollsystem

Anwendungshinweis: Externes Ionenmessgerät-Vakuumkontrollsystem

In Forschungsprojekten mit isolierten Kammern mit zersetzenden organischen Komponenten werden häufig Rotometer verwendet.

Das externe Vakuum-Druckleitsystem verwendet eine spezielle Konfiguration des Alicat-Einzelventildruck Reglers. Der externe Ionenmessgerät-Vakuumregler von Alicat wurde speziell für die Vakuumbeschichtung entwickelt.

Diese Innovation umgeht den unteren Bereich unserer Drucksensoren und ermöglicht eine präzised Kontrolle Der Vakuumbedingungen in der Beschichtungskammer.

Die Steuerung ermöglicht eine blitzschnelle Steuerung auf der Grundlage von Daten, die von einem Ionenmessgerät mit einem Vakuumsensor geliefert werden mit einer linearen 0-10 Volt Druckausgabe. Der Controller übersetzt das Signal und steuert präzise Extreme Vakuum- Drücke innerhalb der Prozesskammer.

In dieser Anwendung korreliert das 0-10 V Signal mit 0-0,5 Torr. Die Steuerung verwendet das Drucksignal des Ionenmessgeräts zur genauen Kontrolle extremer Vakuumbedingungen in der Beschichtungskammer.

Der Massendurchflussmesser vor dem Druckregler ist unbeeinflusst von den Vakuumbedingungen und -maßnahmen und misst präzise Massenstrom, Volumenstrom und die Summe der Gasmassen in die Kammer.

Die Sollwerte können lokal mit einem analogen Signal oder über die serielle RS-232-Verbindung an die Steuerung geliefert werden.

Bitte wenden Sie sich an einen Vertriebsingenieur, um Ihre Anwendung des externen Ionenmesssystems zu besprechen.