Durchfluss

Gasmassendurchflussregler

Gasmassendurchflussregler müssen schnell und genau sein, um eine stabile Strömung zu gewährleisten. Unsere Massenflussregler erreichen ihre Sollwerte schneller als andere Geräte, wodurch sie Schwankungen im Leitungsdruck stoppen können, bevor sie Ihren nachgeschalteten Prozess beeinflussen. Kundenspezifische Ventiloptionen und werksseitige PID-Abstimmung stellen sicher, dass Ihr MFC in Ihrer spezifischen Anwendung gut funktioniert.

Die MC-Serie ist unser Standard-Massendurchflussregler mit Modellen, die Durchflussraten von bis zu 5000 l/min iS oder so niedrig wie 0,0025 cm³/min iS messen können. Wählen Sie ein MCQ, wenn Ihre Leitungsdrücke hoch sind (10- 21 barg). Die MCW-Serie eignet sich am besten für Anwendungen mit niedrigem Druckverlust, für Dichtheitsprüfungen und zur Reduzierung der pneumatischen Ansprechzeit bei Durchflussraten von 50 cm³/min iS  oder weniger.

Wenn Sie einen Ersatz für einen vorhandenen thermischen Massendurchflussregler benötigen, verstaut die MCE-Serie das Ventil innen, um seine Prozessanschlüsse an die SEMI-Standardlänge anzupassen. Für Vakuumanwendungen fügt MCV ein pneumatisch betätigtes Absperrventil auf den MCE-Formfaktor ein.

BASIS ist die Alicat-Serie von kompakten Massendurchflussreglern für OEM-Anwendungen und Großserienaufträge.

Massendurchflussregler und -messgeräte der BIO-Serie für die Bioverarbeitung – Unübertroffene Zuverlässigkeit, extreme Flexibilität und präzise Messungen im weltweit einzigen Massendurchflussregler für die Bioverarbeitung

Gaseinblasung zur pH-Kontrolle (MC)

Steuern Sie die Massendurchflussmengen über einen großen Durchflussbereich mit schnellen Anpassungen, um den sich stets ändernden Durchflussanforderungen zu entsprechen.

Noch schnelleres Lecktests (MCW)

Ein „Whisper“ -Massenstromregler, der auf Druckregelung eingestellt ist, erfüllt die Funktionen eines Druckreglers und eines Massendurchflussmessers in einem Gerät.

Gasflusskontrolle für reaktives Sputtern (MCV)

Präzise Kontrolle der Partialdrücke von reaktiven Gasen in der Vakuumkammer und Aufrechterhaltung einer dichten Absperrung unter strömungsfreien Bedingungen mit dem pneumatischen Ventil.

Durchflusskontrolle für OEM Gasanalysatoren (BASIS)

Geringe Größe, sofortige Steuerungsbereitschaft und doppelte Kommunikation machen BASIS zu einem einfachen Produkt für Endbenutzerprodukte.

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