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Die genaue Massenflusskontrolle verbessert die Ergebnisse der Vakuumbeschichtung

Alicats MCE-Serie und MCV-Serie Direktersatz für gängige Massenstromregler

Tucson, Arizona (28. Oktober 2016) – Die Massendurchflussregler von Alicat Scientific gewährleisten die optimale Beschichtungsumgebung in Vakuumkammern und gewährleisten die Produktintegrität bei Beschichtungs- und Sputterprozessen. Die MCE-Serie und die MCV-Serie können verwendet werden, um ältere und abgekündigte MKS-Instrumente zu ersetzen. Die beiden Serien sind so konzipiert, dass sie in den gleichen Raum passen wie herkömmliche Massendurchflussregler. Sie lassen sich problemlos in bestehende Systeme integrieren. Im Einsatz bieten sie eine schnelle und genaue Flusskontrolle für Gleichmäßigkeit und Qualität des Prozesses.

MCV- und MCE-Massendurchflussregler für die Vakuumbeschichtung

Die MCE-Serie und die MCV-Serie von Alicat können als direkter Ersatz für gängige Massenstromregler verwendet werden.

Der Alicat MCE und der MCV steuern genau Gasflussraten von 0 bis 0,5 sccm im Endmaß oder bis zu 0 bis 20 slp / min im Vollbereich mit Regelreaktionszeiten von 50 bis 100 Millisekunden. Schnelle Reaktionszeiten können die Endprodukte der Vakuumbeschichtung erheblich verbessern und dazu beitragen, Zielvergiftungen zu eliminieren. Das integrierte pneumatische Absperrventil ist normalerweise geschlossen und bietet eine positive Abschaltung von 1 x 10-9 atm-sccm / sec Helium max.

Der MCE kann als Ersatz für den Legacy-Typ MKS 1179A Mass-Flo® verwendet werden, während der MCV den abgekündigten Typ MKS 2179A Mass-Flo® ersetzt. Die Alicat Massendurchf arbeiten mit einer universellen 12-30 VDC Versorgung, und Alicat passt jeden bereits vorhandenen Pin Out auf 9-Pin oder 15-Pin D-Sub Connectors an, um den Austausch zu erleichtern. Die Geräte können ohne Nachkalibrierung in beliebiger Ausrichtung montiert werden, auch in umgekehrter Richtung, was die Installation weiter vereinfacht.

Vorprogrammiert mit Kalibrierungen für 98 Gase, messen MCE und MCV Massendurchfluss, Volumenstrom, Absolutdruck und Temperatur, mit vollem Temperatur- und Druckausgleich. Die Einheiten können direkt über das Tastenfeld des Geräts oder über RS-232 (RS-485 ist auch verfügbar) programmiert werden.

MCE und MCV verwenden die patentierte Laminar Flow Differential Pressure (DP) -Technologie, die in vielen Durchflussmessgeräten von Alicat Scientific zu finden ist. Sie sind mit NIST-rückführbarer Zertifizierung ausgestattet und tragen das CE-Zeichen.

* Typ MKS 1179A Mass-Flo® und Typ MKS 2179A Mass-Flo® sind eingetragene Marken von MKS, Instruments, Inc. Keine Zugehörigkeit, Befürwortung oder Unterstützung wird angegeben oder impliziert.

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