EtherNet / IP- und DeviceNet-Optionen integrieren Massenflussinstrumente in die Steuerung von Beschichtung und Sputterprozessen
Alicat Scientific hat das Angebot an Kommunikationsprotokollen für seine Massendurchfluss Controller für Vakuumbeschichtungsanwendungen um EtherNet / IP und DeviceNet erweitert. Die Massendurchflussregler der MCE-Serie und der MCV-Serie von Alicat stellen die optimale Beschichtungsumgebung in Vakuumkammern sicher, wodurch die Produktintegrität bei der Vakuumabscheidung erhalten bleibt. Der Alicat MCE und der MCV steuern genau Gasflussraten von 0 bis 0,5 sccm im Skalenendwert oder bis zu 0 bis 20 slpm im Skalenendwert und ermöglichen Reaktionszeiten von 20 bis 50 Millisekunden.
Der Alicat MCE und der MCV steuern präzise Gasflussraten von 0 bis 0,5 sccm im Skalenendwert oder bis zu 0 bis 20 slpm im Skalenendwert und ermöglichen Reaktionszeiten von 20 bis 50 Millisekunden.
Die neuen industriellen Automatisierungsprotokolle ermöglichen Echtzeit-Daten – einschließlich Massenfluss, Volumenstrom, Absolutdruck und Temperatur, mit vollständiger Temperatur- und Druckkompensation -, die von der SPS zentral gelesen und zur Verwaltung der Geräte der MCE- und MCV-Serie verwendet werden. Benutzer können den Sollwert oder die Gasauswahl ändern und andere Befehle an Alicat-Geräte mit einer DeviceNet- oder EtherNet / IP-fähigen SPS oder einem Computer ausgeben.
Der Alicat MCE und der MCV steuern genau Gasflussraten von 0 bis 0,5 sccm im Skalenendwert oder bis zu 0 bis 20 slpm im Skalenendwert und ermöglichen Reaktionszeiten von 20 bis 50 Millisekunden. Schnelle Reaktionszeiten können die Endprodukte der Vakuumbeschichtung erheblich verbessern und dazu beitragen, Zielvergiftungen zu eliminieren. Das integrierte pneumatische Absperrventil ist normalerweise geschlossen und bietet eine positive Absperrung von 1 x 10 ^ 9 atm-sccm / sec Helium max.
Zusätzlich zu den neuen EtherNet / IP- und DeviceNet-Protokollen bietet Alicat Modbus-RTU- und PROFIBUS-Kommunikationsoptionen an. Die MCE-Serie und die MCV-Serie können verwendet werden, um ältere und abgekündigte MKS-Instrumente zu ersetzen. Die beiden Serien sind so konzipiert, dass sie in den gleichen Raum passen wie herkömmliche Massenflussregler. Sie lassen sich problemlos in bestehende Systeme integrieren. Alle Alicat-Instrumente werden durch NIST-rückführbare Kalibrierung, umfassenden technischen Support und lebenslange Garantie unterstützt.