MCV: Massendurchflussregler für Vakuum

Alicats MCV-Serie von Massendurchflussreglern wurde speziell für Anwendungen entwickelt, die einen starken Vakuumdruck hinter dem Massendurchflussregler haben, wie z. B. Vakuumabscheidung. Der MCV verbindet ein internes nachgeschaltetes Proportionalsteuerventil innerhalb des Strömungskörpers der Steuerung mit einem zweiten pneumatischen positiven Absperrventil, das mit der stromabwärtigen Seite des Strömungskörpers verbunden ist. Dieses zweite Ventil ermöglicht eine sehr enge Absperrung von 1 x 10e-9 atm scc pro Sekunde (He), was unter anderem für Vakuumbeschichtungs- oder Sputteranwendungen kritisch ist. Alicat MCVs sind in Full-Scale-Bereichen von bis zu 20 SLPM erhältlich.

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